[发明专利]减压干燥装置

权利要求书

1.一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，

所述减压干燥装置具有收纳所述基片的容器，

在所述容器内具有：

用于载置所述基片的载置台；

溶剂收集部，其暂时收集从载置于所述载置台上的所述基片气化了的所述溶液中的溶剂；和

使所述溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，

所述容器在所述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，

所述溶剂收集部设置在俯视时比载置于所述载置台上的所述基片靠外侧的位置，且在比所述基片靠外侧的位置通过所述移动机构而在上下方向上移动。

2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

具有控制部，

所述控制部控制所述移动机构，使得在所述溶液所包含的低沸点的溶剂由所述溶剂收集部收集之后，该溶剂收集部向下方移动，并且在所述低沸点的溶剂从移动到下方后的所述该溶剂收集部脱离之后，该溶剂收集部向上方移动。

3.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集部在上下方向上层叠多层，

所述移动机构使层叠多层的所述溶剂收集部在上下方向上移动。

4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于：

具有控制部，

所述控制部控制所述移动机构，使得在所述溶液所包含的低沸点的溶剂由层叠多层的所述溶剂收集部中的下层的所述溶剂收集部收集之后，所述层叠多层的所述溶剂收集部向下方移动。

5.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：

具有以与载置于所述载置台上的所述基片相对的方式设置的其他溶剂收集部。

6.如权利要求5所述的减压干燥装置，其特征在于，具有：

使所述其他溶剂收集部在上下方向上移动的其他移动机构；和

控制部，

所述控制部控制所述其他移动机构，使得在所述溶液所包含的低沸点的溶剂由所述溶剂收集部收集之后，所述其他溶剂收集部向下方移动。

7.一种使用减压干燥装置使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥方法，其特征在于：

所述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，

所述减压干燥装置具有收纳所述基片的容器，

在所述容器内具有：

用于载置所述基片的载置台；和

溶剂收集部，其暂时收集从载置于所述载置台上的所述基片气化了的所述溶液中的溶剂，

所述容器在所述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，

所述溶剂收集部设置在俯视时比载置于所述载置台上的所述基片靠外侧的位置，

该减压干燥方法包括：

对所述容器内进行排气，并且用所述溶剂收集部收集所述溶液所包含的低沸点的溶剂的步骤；

与收集所述低沸点的溶剂的步骤相连续地对所述容器内进行排气，并且使所述溶剂收集部所收集的低沸点的溶剂脱离的步骤；和

与使所述低沸点的溶剂脱离的步骤相连续地对所述容器内进行排气，并且用所述溶剂收集部收集所述溶液所包含的高沸点的溶剂的步骤。