[发明专利]减压干燥装置

说明书

本发明提供一种减压干燥装置，其使基片上的溶液在减压状态下干燥，溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，减压干燥装置具有收纳基片的容器，在容器内具有：用于载置基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于载置台上的基片气化了的溶液中的溶剂；和使溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，容器在载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，溶剂收集部设置在俯视时比载置于载置台上的基片靠外侧的位置，且在比基片靠外侧的位置通过移动机构而在上下方向上移动。根据本发明，能够使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀。

技术领域

本发明涉及减压干燥装置。

背景技术

专利文献1中公开有使收纳在腔室内的基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置。在该减压干燥装置中设置有溶剂收集网。溶剂收集网由网状板构成，用于暂时收集从基片气化了的溶液中的溶剂，以与基片相对的方式设置在腔室内。在专利文献1中公开的减压干燥装置中，通过设置该溶剂收集网，能够使得干燥时间在基片的面内变得均匀。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-59597号公报。

发明内容

本发明提供一种使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀的技术。

本发明的一个方式是一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，上述溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，上述减压干燥装置具有收纳上述基片的容器，在上述容器内具有：用于载置上述基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于上述载置台上的上述基片气化了的上述溶液中的溶剂；和使上述溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，上述容器在上述载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，上述溶剂收集部设置在俯视时比载置于上述载置台上的上述基片靠外侧的位置，且在比上述基片靠外侧的位置通过上述移动机构而在上下方向上移动。

依据本发明，能够使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀。

附图说明

图1是用于说明现有技术所存在的问题的图。

图2是表示第1实施方式的减压干燥装置的概略结构的截面图。

图3是表示第1实施方式的减压干燥装置的概略结构的俯视图。

图4是表示第1实施方式的减压干燥处理时的腔室内的状态的截面图。

图5是表示第2实施方式的减压干燥装置的概略结构的截面图。

图6是表示第2实施方式的减压干燥处理时的腔室内的状态的截面图。

图7是表示第3实施方式的减压干燥装置的概略结构的截面图。

图8是表示第3实施方式的减压干燥处理时的腔室内的状态的截面图。

附图标记的说明

1、1a、1b 减压干燥装置

10 腔室

13a 排气口

20 载置台

40、60、80 溶剂收集部

P 排气装置

S1 低沸点溶剂

S2 高沸点溶剂

W 基片