[发明专利]磁传感器装置

说明书

磁传感器具备：磁场转换部，其接受沿第一方向输入的输入磁场，并沿与第一方向正交的第二方向输出输出磁场；磁场检测部，其设置于能够施加有输出磁场的位置；以及磁屏蔽，其遮蔽沿第二方向的外部磁场，当沿第一方向观察时，磁场转换部具有正交于第一方向和第二方向的两者的第三方向上的长度比第二方向上的长度长的形状，当沿第一方向观察时，磁屏蔽设置于与磁场转换部和磁场检测部重叠的位置。

技术领域

本发明涉及一种磁传感器装置。

背景技术

近年来，在各种用途中，使用了用于检测物理量(例如，根据移动体的旋转移动或直线移动引起的位置或移动量(变化量)等)的物理量检测装置(位置检测装置)。作为该物理量检测装置，已知有具备能够检测外部磁场的变化的磁传感器和能够使相对于磁传感器的相对位置变化的磁场产生部(例如磁铁)的装置，并且可以从磁传感器输出相应于外部磁场的变化的传感器信号。

作为磁传感器，已知有检测被检测磁场的磁传感器元件被设置于基板上的磁传感器，作为相关的磁传感器元件，可以使用电阻相应于外部磁场的变化而变化的自旋阀型的磁阻效应元件(GMR元件、TMR元件等)等。

自旋阀型的磁阻效应元件由至少具有：能够使磁化方向相应于外部磁场而变化的自由层；磁化方向被固定的磁化固定层；以及介于自由层和磁化固定层之间的非磁性层的层叠结构而构成。在具有这种结构的磁阻效应元件中，通过自由层的磁化方向与磁化固定层的磁化方向所成的角度确定了该磁阻效应元件的电阻值。另外，由于自由层的磁化方向相应于外部磁场而变化，并且由此自由层与磁化固定层的磁化方向所成的角度变化，从而，磁阻效应元件的电阻值变化。通过该电阻值的变化，可以输出相应于外部磁场的变化的传感器信号。设置于基板上的自旋阀型的磁阻效应元件通常以相对于平行于基板的面的方向的磁场具有灵敏度的方式构成。

另一方面，在磁传感器中，还要求通过设置于基板上的自旋阀型的磁阻效应元件来检测垂直于基板的面的方向上的磁场(参照专利文献1)。作为上述的磁传感器，有用于检测磁铁的位置的磁传感器。在该磁传感器中，在设置有磁阻效应元件的基板的上方设置有磁铁，在磁阻效应元件与磁铁之间设置有软磁性体。该软磁性体将由磁铁产生的磁场的分量中的相对于基板面的垂直方向的垂直磁场分量转换成平行于磁阻效应元件具有灵敏度的基板面的方向的磁场分量，并将转换了的磁场分量施加于磁阻效应元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-129697号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

在上述磁传感器中，从磁铁产生并施加于磁阻效应元件的磁场中，除了垂直磁场分量之外，还包含在平行于基板面的方向上的水平磁场分量。在这种情况下，除了由软磁性体转换的磁场分量之外，从磁铁产生的水平磁场分量也被施加于磁阻效应元件。因此，存在在相应于本来应检测的磁场分量(由软磁性体转换得到的磁场分量)的强度的来自磁传感器的输出中产生噪声，或者磁传感器的灵敏度降低的问题。

鉴于上述技术问题，本发明的目的在于提供一种磁传感器装置，其能够抑制除了本来应检测的磁场分量以外的磁场分量的影响，并且使检测精度提高。

用于解决技术问题的技术手段

为了解决上述技术问题，本发明提供一种磁传感器装置，其特征在于，具备：磁场转换部，其接受沿第一方向输入的输入磁场，并沿与所述第一方向正交的第二方向输出输出磁场；磁场检测部，其设置于能够施加有所述输出磁场的位置；以及磁屏蔽，其遮蔽沿所述第二方向的外部磁场，当沿所述第一方向观察时，所述磁场转换部具有正交于所述第一方向和所述第二方向的两者的第三方向上的长度比所述第二方向上的长度长的形状，当沿所述第一方向观察时，所述磁屏蔽设置于与所述磁场转换部和所述磁场检测部重叠的位置。