[发明专利]一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座

权利要求书

1.一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座，其特征在于：包括主盘及多个载盘，所述主盘与所述载盘为分体式，所述载盘与所述主盘为可拆卸可安装连接。

2.根据权利要求1所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述主盘位于所述碳化硅石墨基座的底部，具有承载、传递热量的作用。

3.根据权利要求1所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述主盘的顶部分布着若干与所述载盘一一对应的凹槽，每个所述凹槽承载一个所述载盘。

4.根据权利要求3所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述凹槽与所述载盘通过定位结构装配。

5.根据权利要求4所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述定位结构包括相配合的定位柱和定位孔。

6.根据权利要求3所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述凹槽沿所述主盘的周向间隔均匀布置。

7.根据权利要求1所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述载盘上承载有晶圆。

8.根据权利要求1所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述载盘的外侧形状为圆形、三角形、正方形、矩形、多边形、跑道形中的任意一种。

9.根据权利要求1所述适用于开发工艺的碳化硅石墨基座的，其特征在于：所述主盘、载盘的外表面均涂覆碳化硅薄膜涂层。