[发明专利]喷嘴管理装置、喷嘴管理方法及涂布装置

权利要求书

1.一种喷嘴管理装置，其特征在于，具备：

气体生成部，生成含有从喷嘴排出的液体中的溶剂的规定气体；

气体供给部，将在所述气体生成部生成的所述规定气体供给至所述喷嘴的周边区域。

2.如权利要求1所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述规定气体为所述溶剂的饱和气体。

3.如权利要求1或2所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述规定气体为所述液体中的多种所述溶剂混合的混合气体。

4.如权利要求1～3的任一项所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述规定气体含有所述溶剂的雾。

5.如权利要求1～4的任一项所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述气体生成部具有加热部，加热所述溶剂而使其汽化。

6.如权利要求5所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述加热部具有：雾生成部，形成所述溶剂的雾；惰性气体供给部，为使所述雾汽化而供给升温的惰性气体。

7.如权利要求6所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述气体生成部具有冷却部，冷却含有在所述加热部汽化的所述溶剂的所述惰性气体，使所述溶剂的一部分凝结。

8.如权利要求1～7的任一项所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

具有喷嘴承接部，划分出所述喷嘴的前端的周边区域，

所述气体供给部将所述规定气体供给至所述喷嘴承接部内。

9.如权利要求1～8的任一项所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

具有流量调整部，调整从所述气体供给部供给的所述规定气体的流量。

10.如权利要求9所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

具有位置检测部，检测所述喷嘴的位置，

所述流量调整部根据所述位置检测部的检测结果调整所述规定气体的流量。

11.如权利要求10所述的喷嘴管理装置，其特征在于，

所述位置检测部从使所述喷嘴移动的移动装置获取所述喷嘴的位置信息，

所述流量调整部根据所述位置检测部获取的所述位置信息调整所述规定气体的流量。

12.一种喷嘴管理方法，其特征在于，包括：

生成含有从喷嘴排出的液体中的溶剂的规定气体；

将生成的所述规定气体供给至所述喷嘴的周边区域。

13.一种涂布装置，其特征在于，具备：

喷嘴，将涂布液涂布于基板；

如权利要求1～11的任一项所述的喷嘴管理装置。

14.如权利要求13所述的涂布装置，其特征在于，

所述喷嘴管理装置的所述气体供给部在未向基板涂布时将所述规定气体供给至使所述喷嘴待机的待机位置。