[发明专利]图像感测装置

权利要求书

1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

基板，其包括光电转换元件，该光电转换元件响应于入射到该光电转换元件的光而产生电信号；

通气格栅结构，其包括沿着垂直于所述基板的表面的方向层叠在所述基板上方并且彼此物理隔离的多个空气层；以及

滤色器，其设置在所述通气格栅结构的一侧并且位于所述基板上方。

2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述通气格栅结构还包括：

隔离层，其设置在所述多个空气层当中的两个相邻空气层之间。

3.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括联接到所述通气格栅结构的附加通气格栅结构，并且所述通气格栅结构和所述附加通气格栅结构以网格形状设置。

4.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述通气格栅结构还包括：

第一覆盖膜，其形成为包围所述多个空气层。

5.根据权利要求4所述的图像感测装置，其中，

所述第一覆盖膜的折射率高于所述多个空气层中包括的空气的折射率，并且小于与所述通气格栅结构接触的所述滤色器的折射率。

6.根据权利要求4所述的图像感测装置，其中，所述通气格栅结构还包括：

第二覆盖膜，其形成为包围所述第一覆盖膜，并且具有比所述第一覆盖膜的厚度更大的厚度。

7.根据权利要求6所述的图像感测装置，其中，所述第一覆盖膜和所述第二覆盖膜被设置在与所述通气格栅结构接触的所述滤色器下方。

8.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述多个空气层包括第一空气层和第二空气层，所述第二空气层被设置在所述第一空气层上方并且具有比所述第一空气层的宽度更小的宽度。

9.根据权利要求8所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括隔离层，该隔离层设置在所述第一空气层上方并且具有与所述第一空气层的宽度相同的宽度。

10.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述通气格栅结构还包括：

金属层，其包括金属并设置在所述多个空气层下方。

11.根据权利要求10所述的图像感测装置，其中，所述金属包括钨W。

12.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述多个空气层具有随着靠近所述基板而逐渐减小的宽度。

13.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：

基板，其包括多个光电转换元件，各个光电转换元件被配置为响应于入射到对应光电转换元件的光而产生电信号；

多个滤色器，其分别设置在所述光电转换元件上方，并且布置成包括行和列的矩阵形状；以及

多个通气格栅结构，其布置在任意两个相邻的滤色器之间，各个通气格栅结构被配置为包括彼此物理隔离的多个空气层。

14.根据权利要求13所述的图像感测装置，其中，各个所述通气格栅结构还包括：

隔离层，其设置在两个相邻的空气层之间，并且被配置为将两个相邻的空气层彼此物理隔离。

15.根据权利要求13所述的图像感测装置，其中，各个所述通气格栅结构还包括：

第一覆盖膜，其设置成包围所述空气层；以及

第二覆盖膜，其设置成包围所述第一覆盖膜，并且被配置为具有比所述第一覆盖膜的厚度更大的厚度。

16.根据权利要求15所述的图像感测装置，其中，

所述第一覆盖膜的折射率高于所述空气层中包含的空气的折射率，并且小于与所述通气格栅结构接触的所述滤色器的折射率。