[发明专利]图像感测装置

说明书

公开了一种图像感测装置。该图像感测装置包括：基板，其包括光电转换元件，该光电转换元件响应于入射到光电转换元件的光而产生电信号；通气格栅结构，其包括沿着垂直于基板的表面的方向层叠在基板上方并且彼此物理隔离的多个空气层；以及滤色器，其设置在通气格栅结构的一侧并且位于基板上方。

技术领域

在本专利文献中公开的技术和实现方式总体涉及一种图像传感器，该图像传感器设置有彼此邻接或相邻布置的滤色器。

背景技术

图像传感器是用于捕获入射到其上的光以产生图像的半导体器件。随着计算机行业和通信行业的最近发展，伴随各种电子装置(例如，智能手机、数码相机、视频游戏控制台、与物联网(IoT)一起使用的装置、机器人、监控摄像头、医用微型摄像头等)的改进，对高质量和高性能图像传感器的需求一直在快速增长。

常用的图像传感器通常可以分为电荷耦合器件(CCD)图像传感器和互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。与CMOS图像传感器相比，CCD图像传感器可以具有更少的噪声和更好的图像质量。然而，CMOS图像传感器具有更简单和更方便的驱动方案，因此在一些应用中可能是优选的。此外，CMOS图像传感器可以允许将信号处理电路集成到单个芯片中，这使得易于将CMOS图像传感器微型化以在产品中实现，具有功耗极低的附加好处。可以使用CMOS制造技术来制造CMOS图像传感器，制造成本低廉。由于CMOS图像传感器适合于在移动装置中实现，因此已经得到广泛使用。

发明内容

所公开的技术的各种实施方式涉及提供改进成像性能的图像传感器设计，包括所公开的技术的特定实现方式，其基本上解决了由于一些其它图像传感器设计的限制和缺点而导致的一个或更多个问题。

所公开的技术的实施方式涉及一种设置有通气格栅的图像传感器，使得通气格栅的稳定性与包括通气格栅的图像传感器的空气压力成比例地增加。

根据所公开的技术的一个实施方式，一种图像传感器可以包括：基板，其包括光电转换元件，该光电转换元件响应于入射到该光电转换元件的光而产生电信号；通气格栅结构，其包括沿着垂直于基板的表面的方向层叠在基板上方并且彼此物理隔离的多个空气层；以及滤色器，其设置在通气格栅结构的一侧并且位于基板上方。

根据所公开的技术的另一实施方式，一种图像传感器可以包括：基板，其包括多个光电转换元件，各个光电转换元件被配置为响应于入射到对应光电转换元件的光而产生电信号；多个滤色器，其分别设置在所述光电转换元件上方，并且布置成包括行和列的矩阵形状；以及多个通气格栅结构，其布置在任意两个相邻的滤色器之间，各个通气格栅结构被配置为包括彼此物理隔离的多个空气层。

应当理解，所公开的技术的以上一般描述和以下详细描述都是例示性和解释性的，并且旨在提供对所要求保护的公开内容的进一步解释。

附图说明

当结合附图考虑时，参照以下详细描述，所公开的技术的以上和其它特征以及有益方面将变得显而易见。

图1是示出基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的示例的框图。

图2是示出基于所公开的技术的实现方式的图1所示的像素阵列的一些部分的一个示例的示意图。

图3是示出基于所公开的技术的实现方式的沿着图2所示的第一切割线或第二切割线截取的像素阵列的一个示例的截面图。

图4是示出基于所公开的技术的实现方式的沿着图2所示的第一切割线或第二切割线截取的像素阵列的另一示例的截面图。

图5是示出基于所公开的技术的实现方式的沿着图2所示的第一切割线或第二切割线截取的像素阵列的另一示例的截面图。

图6是示出基于所公开的技术的实现方式的沿着图2所示的第一切割线或第二切割线截取的像素阵列的又一示例的截面图。