[发明专利]一种TFT结构的制作方法

说明书

本发明公开了一种TFT结构的制作方法，包括步骤：制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构，所述第一金属层的底面与基板上表面平行，所述侧壁有源层环绕所述第一金属层的侧面；第一绝缘层设置在所述侧壁有源层的侧面与第一金属层的侧面之间设有绝缘层；于侧壁有源层顶部制作第二金属层，侧壁有源层的顶部两端分别连接有一第二金属层。发明有效利用第一金属层侧表面与有源层形成有源层导电通道，提高TFT器件反应速率与开态电流，同时缩减TFT尺寸，有利于在超高分辨率面板中的应用。并且提供的TFT结构，在器件受到拉伸以及弯折时形变量更小，且可以更好的分散形变产生的应力，使器件保持为稳定，利于未来制造可弯折或可拉伸面板。

技术领域

发明涉及TFT器件制造领域，尤其涉及一种TFT结构的制作方法。

背景技术

近年来产商也不断发布8K显示面板以及搭载超高分辨率显示器的VR眼镜。从市场反应来看，4K分辨率、曲面屏、超宽比已经成为消费者关注的重点，未来显示器也将会继续朝着高分辨率化、曲面化、超宽比化发展。对于电视、或是VR，决定体验的一个重要因素就是PPD(pixelperdegree)，即每视野角度能感知的像素数量。一个标准视力1.0的人，最佳PPD要达到60才能完全无屏幕颗粒感。要提升VR应用的沉浸式体验，分辨率必须达到8K以上才能改进当前VR头显普遍存在的“纱门效应”，未来甚至进一步提升至12K、24K。因此，随着面板高分辨率化发展，如何缩小画素以及画素背后所依靠的TFT器件尺寸成了需要攻克的难题。

发明内容

为此，需要提供一种TFT结构的制作方法，以缩减画素背后所依靠的TFT器件的尺寸。

为实现上述目的，发明人提供了一种TFT结构的制作方法，包括步骤：

制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构，所述第一金属层的底面与基板上表面平行，所述侧壁有源层环绕所述第一金属层的侧面；第一绝缘层设置在所述侧壁有源层的侧面与第一金属层的侧面之间设有绝缘层；

于侧壁有源层顶部制作第二金属层，侧壁有源层的顶部两端分别连接有一第二金属层。

进一步地，所述“制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构”包括步骤：

制作第一金属层；

于第一金属层上覆盖第一绝缘层，并蚀刻所述第一绝缘层制得环绕于第一金属层侧壁的第一通孔；所述第一绝缘层上表面为平面；

于第一通孔内沉积侧壁有源层。

进一步地，在所述“制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构”步骤前，还包括步骤：

制作缓冲层，并于缓冲层上制作底部有源层。

进一步地，在所述“制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构”包括步骤：

涂布第一绝缘层，并于绝缘层上蚀刻制得第一通孔、第二通孔；所述第一绝缘层上表面为平面；

沉积侧壁有源层于第一通孔中，而后于第二通孔内沉积第一金属层。

进一步地，还包括步骤：制作第三绝缘层。

进一步地，在所述“制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构”包括步骤：

制作第一金属层，并涂布第一绝缘层；所述第一绝缘层上表面为平面；

蚀刻第一绝缘层、第三绝缘层，制得以底部有源层为底的第一通孔，并于第一通孔内沉积侧壁有源层。

进一步地，在所述“制作第一金属层、第一绝缘层和侧壁有源层结构”包括步骤：

制作第一金属层，并涂布第一绝缘层；所述第一绝缘层沿第三绝缘层、第一金属层所组成的上表面轮廓涂布；