[发明专利]一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置

权利要求书

1.一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，包括工件盘（1）、镀膜夹具（2）和光学元件（3）；

所述工件盘（1）开有旋转空腔（11），所述镀膜夹具（2）放置于所述旋转空腔（11）中，所述镀膜夹具（2）与所述工件盘（1）转动连接；

所述光学元件（3）放置于所述镀膜夹具（2）中，并通过滑动卡扣机构（4）固定安装。

2.如权利要求1所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜夹具（2）两侧分别通过转轴（5）转动连接。

3.如权利要求2所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述转轴（5）外部连接有电机，电机转动，带动所述转轴（5）以及所述镀膜夹具（2）转动。

4.如权利要求2所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜夹具（2）上开有若干个滑槽（21），所述滑槽（21）中均滑动连接有滑动挡块（41）。

5.如权利要求4所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述滑动卡扣机构（4）共设有八组，四组位于所述镀膜夹具（2）正面四边；另外四组位于所述镀膜夹具（2）背面四边。

6.如权利要求4所述的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，其特征在于，所述滑动挡块（41）上开有定位孔（42）。