[发明专利]一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置

说明书

本发明公开一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，属于高精度镀膜技术领域。所述可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；所述光学元件放置于所述镀膜夹具中，并通过滑动卡扣机构固定安装。该可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置通过电机控制旋转所述镀膜夹具既能够保证光学元件的双面受热均匀，还能保证光学元件两面的镀膜环境相同；在完成双面镀膜之后，两面光学薄膜同时应力释放，并且保持几乎完全等同的应力释放速率；在实现超高面形偏差精度的同时还能减少镀膜返工次数，降低了时间和资金成本。

技术领域

本发明涉及高精度镀膜技术领域，特别涉及一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置。

背景技术

面形偏差是评估光学元件成像质量的重要指标。光学元件的面形偏差对光束线的焦点尺寸有极大影响。目前，最常规的操作是将产品镀完一面之后从炉腔中取出翻面再重新进炉对另外一面进行镀膜。然而，由于薄膜在两次镀膜间隔中应力缓慢释放，最终产品的面形偏差难以精准控制以至于时常需要返工，这无疑增加了时间与资金成本。因此对于光学膜产品（特别是薄膜基底），低成本、高精准实现高质量面形偏差控制是亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，以解决由于光学元件正反两面依次镀膜间隔中应力会缓慢释放所导致面形偏差难以精准控制的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；

所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；

所述光学元件放置于所述镀膜夹具中，并通过滑动卡扣机构固定安装。

可选的，所述镀膜夹具两侧分别通过转轴转动连接。

可选的，所述转轴外部连接有电机，电机转动，带动所述转轴以及所述镀膜夹具转动。

可选的，所述镀膜夹具上开有若干个滑槽，所述滑槽中均滑动连接有滑动挡块。

可选的，所述滑动卡扣机构共设有八组，四组位于所述镀膜夹具正面四边；另外四组位于所述镀膜夹具背面四边。

可选的，所述滑动挡块上开有定位孔。

在本发明中提供了一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；所述光学元件放置于所述镀膜夹具中，并通过滑动卡扣机构固定安装。该可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置能够在镀完一面光学膜之后通过电机控制旋转继而进行第二面镀制，整个镀膜过程连贯，无需开炉；所述镀膜夹具既能够保证光学元件的双面受热均匀，还能保证光学元件两面的镀膜环境相同；所述镀膜环境主要特指光学元件与光学薄膜的应力累积环境；在完成双面镀膜之后，两面光学薄膜同时应力释放，并且保持几乎完全等同的应力释放速率；在实现超高面形偏差精度的同时还能减少镀膜返工次数和开炉次数，降低了时间和资金成本。

附图说明

图1是本发明提供的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置的结构示意图；

图2是本发明提供的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置滑动卡扣机构的放大图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。