[发明专利]MEMS麦克风的修调装置及其修调方法

权利要求书

1.一种MEMS麦克风的修调方法，其特征在于，包括：

根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；

根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及

将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风的ASIC芯片中，在向所述ASIC芯片烧录所述第一数据前，所述ASIC芯片中的第一数据内容为空，

其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。

2.根据权利要求1所述的修调方法，其特征在于，还包括：

将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置；

根据所述MEMS麦克风提供的第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度；以及

根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，

其中，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供所述第二输出信号。

3.根据权利要求2所述的修调方法，其特征在于，所述预设范围包括多个预设区间，根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述MEMS麦克风进行分选。

4.根据权利要求1至3任一所述的修调方法，其特征在于，还包括获得所述MEMS麦克风的增益值与所述第一数据的对照表，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：

根据所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及

计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，

其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。

5.根据权利要求1至3任一所述的修调方法，其特征在于，还包括：

获得所述MEMS麦克风的增益值与所述第一数据的对照表；以及获得所述MEMS麦克风的初始增益值，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：

计算所述初始灵敏度与所述初始增益值之差，以便于获得初始增益归零后的所述初始灵敏度；

根据初始增益归零后的所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及

计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，

其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。

6.一种MEMS麦克风的修调装置，其特征在于，包括：

测试模块，用于根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；

控制模块，用于根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据，并将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风的ASIC芯片中，在向所述ASIC芯片烧录所述第一数据前，所述ASIC芯片中的第一数据内容为空，

其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。

7.根据权利要求6所述的修调装置，其特征在于，还包括分选模块，用于根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，

其中，所述控制模块还用于将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供第二输出信号；所述测试模块还用于根据所述MEMS麦克风提供的所述第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度。

8.根据权利要求7所述的修调装置，其特征在于，所述预设范围包括多个预设区间，所述控制模块还用于根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间产生相应分选信号并发送至所述分选模块。