[发明专利]MEMS麦克风的修调装置及其修调方法

说明书

本申请公开了一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法，该修调方法包括：根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。该修调方法对不同MEMS麦克风配置了对应的增益值，从而使得所有MEMS麦克风的灵敏度均在预设范围内，使得所有被修调后的MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的效果。

技术领域

本发明涉及修调技术，更具体地，涉及一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法。

背景技术

硅麦克风是基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)技术制造的麦克风，跟传统的驻极体电容麦克风(Electret Capacitance Microphone，ECM)的聚合材料振动膜相比，MEMS麦克风在不同温度下的性能都十分稳定，其敏感性不会受温度、振动、湿度和时间的影响。但是，MEMS麦克风需要专用集成电路芯片(Application SpecificIntegrated Circuit，ASIC)提供的外部偏置电压，而ECM不需要。有效的偏置电压将使MEMS麦克风在整个操作温度范围内都可保持稳定的声学和电气参数，还支持具有不同敏感性的麦克风设计。随着时代的进步和技术的发展，应用端对MEMS麦克风的灵敏度要求精度越来越高，例如，以往大部分产品只要求标准灵敏度正负3dB即可满足要求。现在，例如智能手机和智能音箱等，却需要保证标准灵敏度为正负1dB甚至正负0.5dB这样的高要求。像ASIC晶圆这类纯电路芯片是很容易做到电性能高度一致性的，但是MEMS晶圆无法做到ASIC晶圆那样的一致性，MEMS单体间会存在一定差异，这样将MEMS和ASIC组装起来就会存在一定波动误差，如果需要是每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致，那么我们就需要为每颗MEMS传感器烧录修调一颗定制的ASIC芯片以达到标准灵敏度，烧录的两个重要参数分别是VBIAS(MEMS偏置电压)和GAIN(ASIC输出增益)。

因此，希望进一步改进修调方法与修调装置，从而使得每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致。

发明内容

本发明的目的是提供一种改进的修调方法与修调装置，以解决现有技术中无法使MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的技术问题。

根据本发明的一方面，提供了一种修调方法，包括：根据所述MEMS麦克风提供的第一输出信号获得所述MEMS麦克风的初始灵敏度；根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据；以及将所述第一数据烧录至所述MEMS麦克风，其中，所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置，以便于所述MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。

优选地，还包括：将第二数据烧录至所述MEMS麦克风，所述MEMS麦克风的偏置电压被所述第二数据配置；根据所述MEMS麦克风提供的第二输出信号获得修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度；以及根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选，其中，所述MEMS麦克风根据所述偏置电压和所述增益值提供所述第二输出信号。

优选地，所述预设范围包括多个预设区间，根据修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对所述MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述修调后的所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述MEMS麦克风进行分选。

优选地，还包括获得所述MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表，根据所述初始灵敏度选择相匹配的第一数据的步骤包括：根据所述初始灵敏度分别与所述对照表中的每个增益值之和获得多个理论灵敏度；以及计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内。