[发明专利]离子注入机的剂量量测系统的检测方法

权利要求书

1.一种离子注入机的剂量量测系统的检测方法，其特征在于，所述方法包括：

设置直流电源的电流标准值；

在对晶圆进行离子注入之前，通过所述直流电源按所述电流标准值向离子注入机的剂量量测系统提供测试电流；

通过所述剂量量测系统测量所述直流电源提供的测试电流的电流值；

检测所述直流电源的电流标准值与所述剂量量测系统测量的电流值的差值是否超出预定范围；

根据检测结果确定所述离子注入机的剂量量测系统是否发生异常。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测所述直流电源的电流标准值与所述剂量量测系统测量的电流值的差值是否超出预定范围，包括：

通过所述离子注入机的控制系统获取所述剂量量测系统测量的电流值；

通过所述离子注入机的控制系统检测所述直流电源的电流标准值与所述剂量量测系统测量的电流值的差值是否超出预定范围。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述根据检测结果确定所述离子注入机的剂量量测系统是否发生异常，包括：

若所述检测结果为所述直流电源的电流标准值与所述剂量量测系统测量的电流值的差值未超出预定范围，则确定所述剂量量测系统未发生异常；

若所述检测结果为所述直流电源的电流标准值与所述剂量量测系统测量的电流值的差值超出预定范围，则确定所述剂量量测系统发生异常。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述预定范围为所述电流标准值的1％以内。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述剂量量测系统包括法拉第系统和量测控制系统，所述量测控制系统与所述法拉第系统连接。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述通过所述剂量量测系统测量所述直流电源提供的测试电流的电流值，包括：

通过所述离子注入机的控制系统向所述量测控制系统发送量测指令；

通过所述量测控制系统根据所述量测指令控制所述法拉第系统对所述直流电源提供的测试电流进行测量；

通过所述量测控制系统将所述法拉第系统测量的电流值反馈至所述离子注入机的控制系统。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若所述离子注入机未设置直流电源，则设置直流电源，并将所述直流电源与所述离子注入机的剂量量测系统连接。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

当确定所述离子注入机的剂量量测系统未发生异常时，控制所述离子注入机台开始进行离子注入动作；

当确定所述离子注入机的剂量量测系统发生异常时，控制所述离子注入机台发出警报并停止运行。