[发明专利]调制器校准单元、包括其的校准系统及调制器的校准方法

权利要求书

1.一种调制器校准单元，用于校正安装于阵列测试器的调制器的位置，其特征在于，包括：

传感器部，测量所述传感器部与所述调制器的隔开距离；以及

发信模组，将在所述传感器部中检测到的信息向与所述调制器连接的间隙校正单元传递。

2.根据权利要求1所述的调制器校准单元，其特征在于，

所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。

3.根据权利要求2所述的调制器校准单元，其特征在于，

多个所述传感器部配置成三角形状。

4.一种调制器的校准方法，其特征在于，包括：

调制器的校准单元相对步骤，使调制器占位成与校准单元的多个传感器部相对；

校准单元的隔开距离感测步骤，通过所述多个传感器部对与调制器的隔开距离进行检测；

调制器位移调整步骤，通过所述检测到的隔开距离信息，调整固定体单元与自由体单元之间的间隙；

隔开距离确认步骤，在调制器位移调整之后，通过所述多个传感器部确认与所述调制器的隔开距离；以及

校准结束步骤，当在所述多个传感器部中检测到的隔开距离彼此相同时，将所述调制器的校准确认为完结并结束。

5.根据权利要求4所述的调制器的校准方法，其特征在于，

在所述隔开距离确认步骤中，当在所述多个传感器部中检测到的隔开距离彼此不相同时，执行所述调制器位移调整步骤，通过隔开距离确认步骤确认所述多个传感器部至调制器的隔开距离是否彼此相同。

6.一种校准系统，其特征在于，包括：

阵列测试器，用于检测形成在基板上的缺陷，包括固定体单元、自由体单元、压电间隙校正单元、调制器单元和收信模组，所述自由体单元以能够移动的方式结合于所述固定体单元，所述压电间隙校正单元的一侧结合于所述固定体单元并另一侧结合于所述自由体单元，所述压电间隙校正单元能够调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离，所述调制器单元与一个玻璃面板相对，并且所述调制器单元包括调制器，所述调制器结合于所述自由体单元；以及

调制器校准单元，包括传感器部和发信模组，所述传感器部测量与所述调制器的隔开距离，所述发信模组将在所述传感器部中检测到的信息向所述收信模组传递。

7.根据权利要求6所述的校准系统，其特征在于，

所述调制器校准单元包括多个所述传感器部，多个所述传感器部与所述调制器相对，并位于与所述调制器的配置区域对应的区域内。

8.根据权利要求6所述的校准系统，其特征在于，

所述压电间隙校正单元包括：

第一结合体，结合于所述固定体单元；

第二结合体，结合于所述自由体单元；

压电致动器，一侧结合于所述第一结合体，另一侧结合于所述第二结合体；以及

传感器，检测所述调制器与所述玻璃面板之间的间隙，

所述压电致动器利用与从所述传感器检测到的所述间隙相关的信息，调整所述固定体单元与所述自由体单元之间的距离。

9.根据权利要求8所述的校准系统，其特征在于，

所述调制器单元还包括结合有所述调制器的体框架，

以与玻璃面板相对的方式，所述体框架安装于所述自由体单元。

10.根据权利要求9所述的校准系统，其特征在于，

所述调制器和所述传感器位于与所述玻璃面板相对并具有相同的隔开距离的相同面。

11.根据权利要求9所述的校准系统，其特征在于，

所述压电间隙校正单元在所述自由体单元和所述固定体单元安装有多个。