[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板有效
申请号: | 202010409479.X | 申请日: | 2020-05-14 |
公开(公告)号: | CN111584516B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 唐甲;徐源竣 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L29/417;H01L29/423;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:
衬底;
有源层,设置于所述衬底上;所述有源层包括第一导体化区域和第二导体化区域,所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分;
栅极绝缘层,设置于所述有源层上,所述栅极绝缘层刻蚀形成有过孔;
金属层,设置于所述栅极绝缘层上,所述金属层图案化形成有源极、栅极和漏极,所述源极和漏极穿过所述过孔与所述有源层连接;
其中,在所述金属层图案化时,所述有源层被刻蚀形成有空白部分,在所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度,所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触,且所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值。
2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度大于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度等于所述空白部分的宽度。
3.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度等于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度。
4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度大于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度。
5.如权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述第一导体化部分的形状包括正方形和梯形中的一种,所述空白部分的形状包括正方形和三角形中的一种。
6.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括遮光层,所述遮光层刻蚀形成有遮光板和第一电容极板,所述金属层刻蚀形成有第二电容极板,所述第一电容极板与所述第二电容极板形成有存储电容。
7.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括氧化铟锡层,所述氧化铟锡层刻蚀形成有第一电容极板,所述金属层刻蚀形成有第二电容极板,所述第一电容极板与所述第二电容极板形成有存储电容。
8.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述预设值的范围为所述导体化部分的宽度的三分之一至三分之二。
9.一种阵列基板制备方法,其特征在于,包括:
提供衬底;
在所述衬底上形成有源层;
在所述有源层上形成栅极绝缘层;
对所述栅极绝缘层进行第一次刻蚀形成过孔;
根据所述过孔的位置,对所述有源层进行第一次导体化形成第一导体化区域;所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分,所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度;
在所述栅极绝缘层上形成金属层,并刻蚀所述金属层形成源极、漏极和栅极;
对所述栅极绝缘层进行第二次刻蚀得到栅极绝缘层图案;
对有源层进行第二次导体化形成第二导体化区域;所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值;
在所述金属层上形成钝化层。
10.一种显示面板,其特征在于,包括:
阵列基板,所述阵列基板包括衬底、有源层、栅极绝缘层、金属层,所述有源层设置于所述衬底上;所述有源层包括第一导体化区域和第二导体化区域,所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分;所述栅极绝缘层设置于所述有源层上,所述栅极绝缘层刻蚀形成有过孔;所述金属层设置于所述栅极绝缘层上,所述金属层图案化形成有源极、栅极和漏极,所述源极和漏极穿过所述过孔与所述有源层连接;其中,在所述金属层图案化时,所述有源层被刻蚀形成有空白部分,在所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度,所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触,且所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值;
像素电极层,设置于所述阵列基板上;
像素定义层,设置于所述像素电极层上;
发光材料层,设置于所述像素定义层定义出的像素区域;
公共电极层,设置于所述发光材料层上;
封装层,设置于所述公共电极层上。
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的