[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板有效

专利信息
申请号: 202010409479.X 申请日: 2020-05-14
公开(公告)号: CN111584516B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 唐甲;徐源竣 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;H01L29/417;H01L29/423;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 唐秀萍
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 阵列 及其 制备 方法 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

衬底;

有源层,设置于所述衬底上;所述有源层包括第一导体化区域和第二导体化区域,所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分;

栅极绝缘层,设置于所述有源层上,所述栅极绝缘层刻蚀形成有过孔;

金属层,设置于所述栅极绝缘层上,所述金属层图案化形成有源极、栅极和漏极,所述源极和漏极穿过所述过孔与所述有源层连接;

其中,在所述金属层图案化时,所述有源层被刻蚀形成有空白部分,在所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度,所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触,且所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值。

2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度大于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度等于所述空白部分的宽度。

3.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度等于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度。

4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述导体化部分包括与源极连接的第一导体化部分、以及与漏极连接的第二导体化部分,所述第一导体化部分的宽度大于空白部分的宽度,所述第二导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度。

5.如权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述第一导体化部分的形状包括正方形和梯形中的一种,所述空白部分的形状包括正方形和三角形中的一种。

6.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括遮光层,所述遮光层刻蚀形成有遮光板和第一电容极板,所述金属层刻蚀形成有第二电容极板,所述第一电容极板与所述第二电容极板形成有存储电容。

7.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括氧化铟锡层,所述氧化铟锡层刻蚀形成有第一电容极板,所述金属层刻蚀形成有第二电容极板,所述第一电容极板与所述第二电容极板形成有存储电容。

8.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述预设值的范围为所述导体化部分的宽度的三分之一至三分之二。

9.一种阵列基板制备方法,其特征在于,包括:

提供衬底;

在所述衬底上形成有源层;

在所述有源层上形成栅极绝缘层;

对所述栅极绝缘层进行第一次刻蚀形成过孔;

根据所述过孔的位置,对所述有源层进行第一次导体化形成第一导体化区域;所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分,所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度;

在所述栅极绝缘层上形成金属层,并刻蚀所述金属层形成源极、漏极和栅极;

对所述栅极绝缘层进行第二次刻蚀得到栅极绝缘层图案;

对有源层进行第二次导体化形成第二导体化区域;所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值;

在所述金属层上形成钝化层。

10.一种显示面板,其特征在于,包括:

阵列基板,所述阵列基板包括衬底、有源层、栅极绝缘层、金属层,所述有源层设置于所述衬底上;所述有源层包括第一导体化区域和第二导体化区域,所述第一导体化区域包括导体化部分和空白部分;所述栅极绝缘层设置于所述有源层上,所述栅极绝缘层刻蚀形成有过孔;所述金属层设置于所述栅极绝缘层上,所述金属层图案化形成有源极、栅极和漏极,所述源极和漏极穿过所述过孔与所述有源层连接;其中,在所述金属层图案化时,所述有源层被刻蚀形成有空白部分,在所述导体化部分与所述空白部分接触的区域,所述导体化部分的宽度大于所述空白部分的宽度,所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触,且所述第一导体化区域和所述第二导体化区域接触的区域的宽度,等于所述导体化部分与所述空白部分的宽度的差值,所述导体化部分的宽度与所述空白部分的宽度的差值大于预设值;

像素电极层,设置于所述阵列基板上;

像素定义层,设置于所述像素电极层上;

发光材料层,设置于所述像素定义层定义出的像素区域;

公共电极层,设置于所述发光材料层上;

封装层,设置于所述公共电极层上。

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