[发明专利]一种FMM的搬运装置

说明书

本发明公开一种FMM的搬运装置，包括搬运主体、固定于搬运主体两端的接触式吸盘以及固定于搬运主体上的非接触式吸盘，接触式吸盘和非接触式吸盘朝向一致，接触式吸盘和非接触式吸盘顶部均固定有气嘴，非接触式吸盘的工作面高于接触式吸盘的工作面。非接触式吸盘为气旋型非接触式真空吸盘。非接触式吸盘设置有若干个，且呈线性设置。与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明采用两端接触式吸取搬运，中部非接触式吸取能够防止高精度金属掩模板发生形变，保证其拿取的便捷程度，且由于调压阀和手控阀的设置，使得真空发生器中的吸力能够调节。

技术领域

本发明为传输设备领域，具体涉及一种FMM的搬运装置。

背景技术

手机显示屏幕领域朝着高精密、高清晰、高PPI的方向发展，要求在OLED手机屏制作过程中的关键工具-----高精密金属掩模板(FMM)也同样向着高精密、高PPI、高开口率及超薄方向发展。目前大部分OLED手机屏幕厂家使用的FMM材料厚度为25um，后续还会向着更薄，以达到更高品质的OLED屏幕手机。随着FMM基材的厚度变薄，很容易产生形变，因此获得一种安全有效的FMM的搬运装置十分重要。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种FMM的搬运装置，包括搬运主体、固定于搬运主体两端的接触式吸盘以及固定于搬运主体上的非接触式吸盘，接触式吸盘和非接触式吸盘朝向一致，接触式吸盘和非接触式吸盘顶部均固定有气嘴，非接触式吸盘的工作面高于接触式吸盘的工作面。

还包括控制器，控制器内包括具有进气口、真空抽气口和出气口的真空发生器、控制真空发生器的调压阀以及手控阀，真空抽气口通过连接管密封连接至气嘴。控制器具有一个，连接管连接其中一个气嘴，气嘴与气嘴之间通过三通密封连接。搬运主体为铝型材杆体。

非接触式吸盘为气旋型非接触式真空吸盘，气旋型非接触式真空吸盘底部向上开设有旋回流腔，气旋型非接触式真空吸盘壁上开设有气流通道，气流通道与旋回流腔连通，且气流通道位于旋回流腔的切线位置，高压气体经过气流通道后沿切线方向进入旋回流腔，在旋回流腔内作出强回旋运动，由离心力的作用，气旋型非接触式真空吸盘中心产生负压。气旋型非接触式真空吸盘可以用较小的空气消耗量产生较大的吸取力，节约能耗，且其具有结构简单、维护方便、噪音小等优点。

非接触式吸盘为伯努利式非接触真空吸盘，其吸盘壁上固定有环型喷嘴，环型喷嘴由侧向吸盘内喷射高速气流，高速气流从吸盘中心底部喷出，产生负压。伯努利式非接触真空吸盘气流为放射状，吸力均匀，吸取过程稳定。

非接触式吸盘设置有若干个，且呈线性设置。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明采用两端接触式吸取搬运，中部非接触式吸取能够防止高精度金属掩模板发生形变，保证其拿取的便捷程度，且由于调压阀和手控阀的设置，使得真空发生器中的吸力能够调节。

附图说明

图1为本发明立体图；

图2为本发明真空发生器结构示意图；

图3为本发明主视图；

图4为伯努利式非接触真空吸盘原理图一；

图5为伯努利式非接触真空吸盘原理图二；

图6为气旋型非接触式真空吸盘结构俯视图；

图7为气旋型非接触式真空吸盘原理图；

附图标记：1-搬运主体；2-接触式吸盘；3-非接触式吸盘；4-气嘴；5-真空发生器；6-进气口；7-真空抽气口；8-出气口；9-高精度金属掩模板；10-连接管；11-连接导管；12-三通；13-旋回流腔；14-伯努利式非接触真空吸盘；15-气旋型非接触式真空吸盘；16-气流通道。

具体实施方式