[发明专利]一种用于铜大马士革工艺的清洗液

权利要求书

1.一种用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，包括：氧化剂、螯合剂、有机碱、表面张力调节剂、金属缓蚀剂、有机酸铵盐、和水。

2.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述氧化剂的含量为0.1wt％-30wt％。

3.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述螯合剂的含量为0.05-1000ppm。

4.如权利要求3所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述螯合剂的含量为0.1-10ppm。

5.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述有机碱的含量为0.1wt％-20wt％。

6.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述表面张力调节剂的含量为10ppm-10wt％。

7.如权利要求6所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述表面张力调节剂的含量为10ppm-5wt％。

8.如权利要求7所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述表面张力调节剂的含量为10ppm-3％。

9.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述金属缓蚀剂的含量为0.01wt％-20wt％。

10.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述有机酸铵盐的含量为0.01wt％-50wt％。

11.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述水的含量为35.1wt％-96.9wt％。

12.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述氧化剂选自H₂O₂、N-甲基吗啉氧化物、过氧化苯甲酰、过乙酸、过氧化脲、硝酸、过氧乙酸、过氧苯甲酸、或四氧嘧啶中的一种或多种。

13.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述螯合剂选自甘氨酸、丝氨酸、脯氨酸、亮氨酸、丙氨酸、天冬氨酸、天冬酰胺、谷氨酰胺、缬氨酸、赖氨酸、胱氨酸、乙二胺四乙酸、反式-1,2环己二胺四乙酸、尿酸、吡啶甲酸、次氮基三乙酸、羟基乙叉二膦酸、乙二胺-N,N’-二琥铂酸、谷氨酸、二乙烯三胺五乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、亚氨基二乙酸、氨三乙酸、水杨酸、葡萄糖酸、烟酸、酒石酸、柠檬酸、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-1,4,7,10-四乙酸、乙二醇四乙酸、1,2-双(邻氨基苯氧基)乙烷-N,N,N’,N’-四乙酸、乙二胺-N,N’-双(2-羟基苯乙酸)、或丙二胺四乙酸中的一种或多种。

14.如权利要求1所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述有机碱选自季胺氢氧化物、有机胺、或有机醇胺中的一种或多种。

15.如权利要求14所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述季胺氢氧化物选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、三甲基苯基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、苄基三乙基氢氧化铵、胆碱氢氧化物、氢氧化铵、十二烷基三甲基氢氧化铵、或十六烷基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

16.如权利要求14所述的用于铜大马士革工艺的清洗液，其特征在于，所述有机胺选自单乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺、N'N-二乙基乙二胺、羟乙基乙二胺、环己胺、1,2-丙二胺、或五甲基二乙烯三胺中的一种或多种。