[发明专利]引出窗支撑结构及其应用方法

权利要求书

1.一种引出窗支撑结构，其特征在于，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

与各组支撑格栅相配合的窗膜；

其中，所述支撑铜板在接近各支撑格栅的位置上，分别设置有使各组支撑格栅在空间上分别呈下沉状的第一台阶。

2.一种引出窗支撑结构，其特征在于，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

与各组支撑格栅相配合的窗膜；

其中，所述支撑铜板上设置有使各组支撑格栅在支撑铜板上呈整体下沉的第二台阶。

3.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述第一台阶或第二台阶被配置为直角台阶、弧形台阶、斜面台阶中的任意一种，且所述第一台阶或第二台阶的转角被配置为具有圆弧过渡；

其中，所述圆弧的半径被控制在1-15mm之间。

4.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述第一台阶或第二台阶的下沉高度被配置为1-3mm之间；

其中，所述第一台阶或第二台阶的下沉高度与窗膜的平整度呈反相关，与窗膜的宽度呈正相关。

5.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述第一台阶或第二台阶在与支撑格栅之间设置有平台过渡；

其中，所述平台过渡的宽度被配置在1-15mm之间。

6.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，在支撑铜板上的引出窗口大于两个时，各引出窗口的两侧都设置有相配合的冷却水通道。

7.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述窗膜的材质被配置为采用钛或者钛合金，且所述窗膜的厚度配置在6～40um之间。

8.如权利要求1或2所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述支撑格栅被配置为在空间上呈弧形或S型的弯曲格栅；

其中，所述弯曲格栅的弧形顶点到弯曲格栅端部两点连线之间的距离被配置为1mm～5mm。

9.如权利要求8所述的引出窗支撑结构，其特征在于，所述弯曲格栅的厚度被配置为0.3mm～3mm，长度被配置为30～100mm，高度被配置为2～30mm；

所述弯曲格栅的中部设置有加强筋。

10.一种应用如权利要求1-9任一项所述引出窗支撑结构的方法，其特征在于，包括：

在所述支撑铜板与支撑格栅表面相配合的位置上平铺窗膜；

在支撑格栅一侧抽真空，以在支撑格栅的两侧分别形成真空侧以及对应的大气侧；

在抽真空过程中，大气侧的压力将窗膜压向支撑铜板以及支撑格栅表面，以使窗膜在第一台阶或第二台阶部位发生拉伸变形，进而将窗膜原有不平整部分进行强制拉伸整形，使窗膜平整地紧贴在支撑铜板和支撑格栅上。