[发明专利]引出窗支撑结构及其应用方法

说明书

本发明公开了一种引出窗支撑结构及其应用方法，包括：支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；与各组支撑格栅相配合的窗膜；其中，所述支撑铜板在与各支撑格栅相配合的位置上，设置有使各组支撑格栅在空间上分别呈下沉状的第一台阶。本发明提供一种引出窗支撑结构及其应用方法，其能够通过在支撑铜板上增加下沉台阶，给窗膜一个发生拉伸形变的空间，使窗膜在支撑铜板的下沉台阶部位发生强制拉伸变形，避免皱褶的出现，延长了窗膜使用寿命。

技术领域

本发明涉及一种电子加速器领域。更具体地说，本发明涉及一种用在产生电子束情况下使用的引出窗支撑结构及其应用方法。

背景技术

电子加速器引出窗采用金属薄膜隔离高真空和大气，通常采用钛膜或钛合金膜。选择50um及以上厚度的窗膜时，可以不用支撑铜板和支撑格栅进行支撑，窗膜在大气压力下自然弯曲成弧形，窗膜被拉升形变，不会形成皱褶。为了减少电子束经过窗膜时的能量损失，越来越多地使用更薄的窗膜，由于薄窗膜的强度较差，需要用支撑铜板和支撑格栅进行支撑和冷却，以免窗膜损坏。

现有技术中，也有对窗板的结构进行设计，如专利公开号为CN207589258U的《一种电子加速器水冷格栅结构》，专利公开号为CN208063543U的《电子加速器钛箔支撑法兰结构》，以及专利公开号为CN206948700U的《低能电子加速器用束流引出窗》；在这三种结构下，窗膜在系统抽真空时，都会变成一个平面紧贴在支撑铜板和支撑格栅表面，以满足薄窗膜的支撑和冷却需要，而三者都存在的问题在于，通常情况下金属窗膜是由金属板材反复压制而成，故而受机械加工的原因，窗膜不可能是一个理想平面，故而在抽真空时，窗膜会在大气压力下出现皱褶，因皱褶处应力集中，散热差，成为设备中的薄弱点，发生泄露或损坏的几率变大，严重影响窗膜的使用寿命，急需找到解决方案。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本发明还有一个目的是提供一种引出窗支撑结构，其能够通过在支撑铜板上增加下沉台阶，给窗膜一个发生拉伸形变的空间，使窗膜在支撑铜板的下沉台阶部位发生强制拉伸变形，避免皱褶的出现，延长了窗膜使用寿命。

为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，提供了一种引出窗支撑结构，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

与各组支撑格栅相配合的窗膜；

其中，所述支撑铜板在与各支撑格栅相配合的位置上，设置有使各组支撑格栅在空间上分别呈下沉状的第一台阶。

优选的是，包括：

支撑铜板，其上设置有至少一组支撑格栅，且各组支撑格栅在空间上分别构成电子束的引出窗口；

与各组支撑格栅相配合的窗膜；

其中，所述支撑铜板上设置有使各组支撑格栅在支撑铜板上呈整体下沉的第二台阶。

优选的是，所述第一台阶或第二台阶被配置为直角台阶、弧形台阶、斜面台阶中的任意一种，且所述第一台阶或第二台阶的转角被配置为具有圆弧过渡；

其中，所述圆弧的半径被控制在1-15mm之间。

优选的是，所述第一台阶或第二台阶的下沉高度被配置为1-3mm之间；

其中，所述第一台阶或第二台阶的下沉高度与窗膜的平整度呈反相关，与窗膜的宽度呈正相关。

优选的是，所述第一台阶或第二台阶在与支撑格栅之间设置有平台过渡；

其中，所述平台过渡的宽度被配置在1-15mm之间。