[发明专利]衬底转移装置及使用该衬底转移装置的衬底转移方法

权利要求书

1.一种衬底转移装置，用于对衬底施加抽吸并且转移所述衬底，所述衬底转移装置包括：

抽吸垫，包括聚甲醛，所述抽吸垫具有带有多个抽吸孔的平坦的抽吸表面；

管道，用于施加抽吸以通过所述抽吸垫的所述抽吸孔吸出空气；以及

控制器，配置成移动所述抽吸垫并控制所述空气的抽吸。

2.根据权利要求1所述的衬底转移装置，其中，所述抽吸垫具有10⁶至10⁹欧姆/平方的表面电阻。

3.根据权利要求1所述的衬底转移装置，其中，所述抽吸垫不包括除所述聚甲醛中的碳成分之外的碳成分。

4.根据权利要求1所述的衬底转移装置，其中，所述抽吸垫配置成大于待转移的所述衬底。

5.根据权利要求4所述的衬底转移装置，其中，所述抽吸垫在配置成对至少两个衬底同时施加抽吸的位置处具有第一抽吸孔组和第二抽吸孔组，所述第一抽吸孔组包括第一多个抽吸孔，所述第二抽吸孔组与所述第一抽吸孔组间隔开并且在所述抽吸表面上具有第二多个抽吸孔。

6.一种衬底转移方法，所述方法包括：

接近步骤，其中，将衬底转移装置的抽吸垫的抽吸表面定位在衬底上方距所述衬底2mm以内；

抽吸步骤，其中，通过施加抽吸以通过形成在所述抽吸表面中的多个抽吸孔吸出所述抽吸表面与所述衬底之间的空气，而将所述衬底附接到所述抽吸表面，其中，所述抽吸表面和所述衬底最初彼此间隔开，并且然后被吸在一起；以及

转移步骤，其中，移动所述抽吸垫。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括将所述抽吸表面设置为由聚甲醛形成的平坦表面。

8.根据权利要求7所述的方法，还包括将所述抽吸垫的表面电阻限制成10⁶至10⁹欧姆/平方。

9.根据权利要求6所述的方法，还包括将所述抽吸垫配置成用于转移柔性衬底。

10.根据权利要求6所述的方法，其中，将所述衬底附接在所述抽吸垫下方，并且在所述衬底附接在所述抽吸垫下方的同时移动所述衬底。