[发明专利]衬底转移装置及使用该衬底转移装置的衬底转移方法

说明书

本申请涉及一种用于向衬底施加抽吸并转移衬底的衬底转移装置以及使用该衬底转移装置的衬底转移方法。该衬底转移装置包括抽吸垫、管道和控制器，其中，抽吸垫包括具有聚甲醛(POM)和多个抽吸孔的平坦的抽吸表面，管道用于施加抽吸以通过抽吸垫的抽吸孔吸出空气，控制器配置成移动抽吸垫并控制空气的抽吸。

技术领域

本发明的示例性实施方式总体上涉及衬底转移装置、以及使用该衬底转移装置的衬底转移方法，并且更具体地，涉及能够无损坏地转移衬底的衬底转移装置、以及使用该衬底转移装置的衬底转移方法。

背景技术

由于平板显示装置与阴极射线管(CRT)显示装置相比重量轻并且薄，因而这种显示装置被广泛用作电子设备的显示设备。这种类型的显示装置的典型示例是等离子体显示装置、液晶显示(LCD)装置和有机发光显示(OLED)装置。

这些类型的显示装置包括堆叠在衬底上的结构，并且制造显示装置的方法通常包括转移衬底用于各种处理步骤。此时，可以使用衬底转移装置来转移衬底，并且需要无损坏地转移衬底。

在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术，并且因此，其可以包含不构成现有技术的信息。

发明内容

本发明构思的一个或多个示例性实施方式提供了一种能够无损坏地转移衬底的衬底转移装置。

本发明构思的一个或多个示例性实施方式还提供了一种使用衬底转移装置的衬底转移方法。

本发明构思的其它特征将在下面的描述中进行阐述，并且将从该描述部分地显而易见，或者可以通过本发明构思的实践而习得。

根据本发明构思的示例性实施方式，一种用于对衬底施加抽吸并转移衬底的衬底转移装置包括：抽吸垫，其包括聚甲醛(POM)并且具有带有多个抽吸孔的平坦的抽吸表面；管道，其用于施加抽吸以通过抽吸垫的抽吸孔吸出空气；以及控制器，其配置成移动抽吸垫并且控制空气的抽吸。

在示例性实施方式中，抽吸垫可以具有约10⁶至10⁹欧姆/平方的表面电阻。

在示例性实施方式中，抽吸垫可以不包括除聚甲醛(POM)中的碳成分之外的碳成分。

在示例性实施方式中，抽吸垫可以比衬底大。

在示例性实施方式中，抽吸垫可以具有包括多个抽吸孔的第一抽吸孔组以及与第一抽吸孔组间隔开并且在抽吸表面上具有多个抽吸孔的第二抽吸孔组，以同时向至少两个衬底施加抽吸。

在示例性实施方式中，衬底的上表面可以附接在抽吸垫下方。

在示例性实施方式中，衬底的下表面可以附接在抽吸垫上。

在示例性实施方式中，抽吸表面可以具有圆形形状。

在示例性实施方式中，抽吸孔可以沿着第一方向和与第一方向垂直的第二方向布置在抽吸表面上。

在示例性实施方式中，控制器可以在第一方向、与第一方向垂直的第二方向以及与第一方向和第二方向垂直的第三方向上移动抽吸垫。

在示例性实施方式中，衬底可以是柔性衬底。

根据本发明构思的示例性实施方式，一种衬底转移方法包括接近步骤、抽吸步骤和转移步骤，其中：在接近步骤中，将衬底转移装置的抽吸垫的抽吸表面定位在距衬底2mm以内；在抽吸步骤中，在抽吸表面与衬底彼此间隔开的状态下，通过经由形成在抽吸表面中的多个抽吸孔来吸出抽吸表面与衬底之间的空气，而将衬底附接在抽吸表面上；在转移步骤中，移动抽吸垫。

在示例性实施方式中，抽吸垫可以包括聚甲醛(POM)，并且抽吸垫的抽吸表面是平坦的。