[发明专利]一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机在审

专利信息
申请号: 202010439791.3 申请日: 2020-05-22
公开(公告)号: CN111564395A 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 李伟明 申请(专利权)人: 广州冰钫商贸有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510000 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 避免 二次 芯片 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其结构包括底座(1)、控制板(2)、蚀刻箱(3)、防护布(4)、柜门(5)、观察窗(6),所述观察窗(6)嵌固连接在柜门(5)正前方,所述柜门(5)活动卡合在蚀刻箱(3)前方,所述控制板(2)螺栓连接在底座(1)前上方位置,所述防护布(4)铆合连接在蚀刻箱(3)外部,其特征在于:所述蚀刻箱(3)嵌固连接在底座(1)顶端;

所述蚀刻箱(3)主要包括调节装置(a1)、固定块(a2)、导杆(a3)、滑块(a4)、导管(a5),所述调节装置(a1)嵌固连接在蚀刻箱(3)内部最下方,所述导杆(a3)螺栓连接在蚀刻箱(3)内部中段处,所述滑块(a4)间隙配合安装在导杆(a3)外部,所述固定块(a2)铆合连接调节装置(a1)上方,所述导管(a5)电连接在导杆(a3)后方。

2.根据权利要求1所述的一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其特征在于:所述调节装置(a1)主要包括底板(a11)、结合板(a12)、接触片(a13),所述接触片(a13)活动卡合在结合板(a12)上方,所述底板(a11)嵌固连接在结合板(a12)底部位置。

3.根据权利要求2所述的一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其特征在于:所述结合板(a12)主要包括驱动器(b 1)、缓冲机构(b2)、连接板(b3)、衔接块(b4),所述驱动器(b 1)嵌套连接在底板(a11)两侧,所述缓冲机构(b2)配合连接板(b3)过盈连接在驱动器(b 1)上方,所述衔接块(b4)嵌固连接在驱动器(b 1)侧上方,所述驱动器(b 1)上方铆合连接有接触片(a13)。

4.根据权利要求3所述的一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其特征在于:所述缓冲机构(b2)主要包括套体(b21)、拨动器(b22)、刺柱(b23)、辅助块(b24)、联合片(b25)、弹条(b26)、滑杆(b27)、支撑杆(b28),所述套体(b21)内部设有拨动器(b22),所述刺柱(b23)嵌固连接在联合片(b25)下方,所述辅助块(b24)通过弹条(b26)与支撑杆(b28)相连接,所述滑杆(b27)活动卡合在辅助块(b24)两侧,所述滑杆(b27)间隙配合安装在套体(b21)内壁。

5.根据权利要求4所述的一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其特征在于:所述拨动器(b22)主要包括固定板(b221)、半球(b222)、角块(b223),所述角块(b223)配合半球(b222)与套体(b21)相连接,所述半球(b222)嵌套连接在固定板(b221)内部,所述固定板(b221)贴合与套体(b21)侧方。

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