[发明专利]一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机

说明书

本发明公开了一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其结构包括底座、控制板、蚀刻箱、防护布、柜门、观察窗，控制板螺栓连接在底座前上方位置，蚀刻箱嵌固连接在底座顶端，蚀刻箱包括调节装置、固定块、导杆、滑块、导管，调节装置嵌固连接在蚀刻箱内部最下方，滑块间隙配合安装在导杆外部，本发明通过刺柱配合上方的弹条与滑杆，使其与拨动器进行啮合配合，蚀刻液通过导管，流入到环条的镂空处，经过镂空处向下喷淋，当蚀刻液经过镂空处时，滚球因蚀刻液流动而快速转动，能够进一步提高蚀刻液的流动能力，使其进行快速的蚀刻工作，并且环形状态的环条扩大蚀刻的储蓄容量，减小排出口，使得喷淋的蚀刻液变得更加集中，避免蚀刻液喷淋不均匀的问题。

技术领域

本发明涉及芯片蚀刻领域，更加具体来说，是涉及到一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机。

背景技术

蚀刻通常也称光化学蚀刻，指通过显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，目前，市面上的蚀刻机大多为喷淋式蚀刻机，喷淋式蚀刻机上设有蚀刻喷淋装置，在对芯片进行喷淋蚀刻时，由于喷头和其他部件的阻挡，会造成喷淋不均匀的情况出现，并且蚀刻液会飞溅到蚀刻箱顶部，因蚀刻箱顶部为平面结构，飞溅到蚀刻箱顶部的蚀刻液会再次滴落到蚀刻工作台面上，导致芯片的二次蚀刻，二次蚀刻会降低芯片的蚀刻品质。

发明内容

针对上述由于喷头和其他部件的阻挡，蚀刻液会飞溅到蚀刻箱顶部，且蚀刻箱顶部为平面结构，飞溅到蚀刻箱顶部的药水会再次滴落到蚀刻工作台面上的问题，本发明提供一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种避免二次芯片蚀刻的蚀刻机,其结构包括底座、控制板、蚀刻箱、防护布、柜门、观察窗，所述观察窗嵌固连接在柜门正前方，所述柜门活动卡合在蚀刻箱前方，所述控制板螺栓连接在底座前上方位置，所述防护布铆合连接在蚀刻箱外部，所述蚀刻箱嵌固连接在底座顶端，所述蚀刻箱主要包括调节装置、固定块、导杆、滑块、导管，所述调节装置嵌固连接在蚀刻箱内部最下方，所述导杆螺栓连接在蚀刻箱内部中段处，所述滑块间隙配合安装在导杆外部，所述固定块铆合连接调节装置上方，所述导管电连接在导杆后方。

作为本发明的更进一步改进，所述调节装置主要包括底板、结合板、接触片，所述接触片活动卡合在结合板上方，所述底板嵌固连接在结合板底部位置，所述接触片，表层还覆盖一层较薄的海绵垫，具有一定柔软度。

作为本发明的更进一步改进，所述结合板主要包括驱动器、缓冲机构、连接板、衔接块，所述驱动器嵌套连接在底板两侧，所述缓冲机构配合连接板过盈连接在驱动器上方，所述衔接块嵌固连接在驱动器侧上方，所述驱动器上方铆合连接有接触片，所述缓冲机构共设有两处，且以底板为中线呈对称结构分布安装。

作为本发明的更进一步改进，所述缓冲机构主要包括套体、拨动器、刺柱、辅助块、联合片、弹条、滑杆、支撑杆，所述套体内部设有拨动器，所述刺柱嵌固连接在联合片下方，所述辅助块通过弹条与支撑杆相连接，所述滑杆活动卡合在辅助块两侧，所述滑杆间隙配合安装在套体内壁，所述套体内部设有多个拨动器，且间隙配合安装在刺柱之间的间隙，形成齿轮啮合状态。

作为本发明的更进一步改进，所述拨动器主要包括固定板、半球、角块，所述角块配合半球与套体相连接，所述半球嵌套连接在固定板内部，所述固定板贴合与套体侧方，所述角块采用天然乳胶材质，具有一定坚韧度与回弹性。

作为本发明的更进一步改进，所述滑块主要包括套板、垫板、衔接板、环条，所述衔接板嵌套连接在套板内部，所述套板贴合于环条上方，所述垫板嵌固连接在环条底部位置，所述环条呈环形的镂空状态。

作为本发明的更进一步改进，所述环条主要包括环套、阻挡片、滚球，所述滚球间隙配合安装在环套内部，所述阻挡片嵌固连接在环套外部，所述环套内部设有若干个滚球，且滚球活动卡合在阻挡片之间。

有益效果

与现有技术相比，本发明有益效果如下：