[发明专利]分离装置和分离方法在审
申请号: | 202010440436.8 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN111613555A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 王恺君 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/78 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 刁文魁 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分离 装置 方法 | ||
本发明提供一种分离装置和分离方法,用于分离固定在载体基板上的柔性基板,载体基板具有一分割区和第二分割区,柔性基板包括与第一分割区相对设置的有效区和与第二分割区相对设置的非有效区。该装置包括:活动台板,用于将第二分割区抬高,使载体基板与柔性基板部分分离形成切入口;分离薄片,用于沿切入口对柔性基板进行分离操作,使柔性基板的有效区与载体基板的第一分割区分离;吸附头,用于将经分离操作的柔性基板从载体基板上移除。该方案通过活动台板在载体基板和柔性基板之间形成切入口,再使用分离薄片沿切入口对柔性基板进行分离操作,最后使用吸附头将经分离操作的柔性基板移除,提高了柔性基板的良品率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种分离装置和分离方法。
背景技术
随着显示技术的发展,柔性显示装置具有轻薄、易弯折以及方便携带的优点,因此越来越受人们的欢迎。
柔性显示装置的制备过程中,一般将柔性基材粘接在刚性载体基板上,再对其进行相关加工工艺。最后将完成所有工艺的柔性基材与刚性载体基板分离,得到柔性显示装置。
上述分离过程中,一般需要用机械设备直接吸附住刚性载体基板,在一定的力度下将载体基板去除,这样的方式将拉扯到柔性基材,造成损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供一种分离装置和分离方法,可以提高柔性基板的良品率。
本发明实施例提供了一种分离装置,用于分离固定在载体基板上的柔性基板,所述载体基板具有相互分割的第一分割区和第二分割区,所述柔性基板包括有效区和非有效区,其中,所述第一分割区与所述有效区相对设置,且所述第二分割区与所述非有效区相对设置,该分离装置包括:
活动台板,所述活动台板用于将所述第二分割区抬高,使所述载体基板与所述柔性基板部分分离,形成切入口;
分离薄片,所述分离薄片用于沿所述切入口,对所述柔性基板进行分离操作,使所述柔性基板的所述有效区与所述载体基板的所述第一分割区分离;
吸附头,所述吸附头用于将经分离操作的柔性基板从所述载体基板上移除。
在一实施例中,所述分离装置还包括传感器;
所述传感器设置在所述分离薄片上,所述传感器用于检测所述切入口光线的变化,形成控制信号;
所述分离薄片用于根据所述控制信号,沿所述切入口对所述柔性基板进行分离操作。
在一实施例中,所述分离装置还包括:固定台板,所述固定台板与所述活动台板邻接设置,所述固定台板用于承载所述载体基板的第一分割区以及所述柔性基板的有效区。
在一实施例中,所述分离装置还包括:转动件,所述转动件连接所述固定台板和所述活动台板,所述转动件用于控制所述活动台板围绕所述固定台板转动,以抬高所述载体基板的所述第二分割区。
在一实施例中,所述转动件包括转轴或铰链。
在一实施例中,所述分离装置还包括控制单元,所述控制单元用于控制所述转动件的转动速率和转动幅度。
在一实施例中,所述分离装置还包括切割件,所述切割件用于根据所述柔性基板的所述有效区和所述非有效区的位置关系,对所述载体基板进行切割,使所述载体基板形成与所述有效区相对设置的所述第一分割区,以及与所述非有效区相对设置的所述第二分割区;
所述切割件还用于在将经分离操作的柔性基板从所述载体基板上移除后,将经移除操作的柔性基板的非有效区切除。
本发明实施例还提供了一种分离方法,用于分离固定在载体基板上的柔性基板,所述载体基板具有第一分割区和第二分割区,其中,所述第一分割区与所述柔性基板的有效区相对设置,所述第二分割区与所述柔性基板的非有效区相对设置,该分离方法包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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