[发明专利]晶圆ID读取装置

权利要求书

1.一种晶圆ID读取装置，包括第一光源(1)、第二光源(2)、对应于所述第一光源(1)的第一反光组件(3)、对应于所述第二光源(2)的第二反光组件(4)以及成像组件(6)，其特征在于，所述晶圆ID读取装置还包括选择组件(5)其中：

所述第一光源(1)与所述第二光源(2)的发光方向相反，以分别向晶圆两侧照射光线；

所述第一反光组件(3)能够将晶圆一侧表面反射的光线反射至所述成像组件(6)；

所述第二反光组件(4)能够将晶圆另一侧表面反射的光线反射至所述成像组件(6)；

所述选择组件(5)包括活动部件，所述活动部件活动设置于所述晶圆ID读取装置上，并能够选择将所述第一反光组件(3)和所述第二反光组件(4)中一者反射的光线反射至所述成像组件(6)。

2.根据权利要求1所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述活动部件包括挡板(50)，所述挡板(50)能够平移至遮挡所述第一反光组件(3)和所述第二反光组件(4)中一者反射的光线的位置，并允许另一者反射的光线反射至所述成像组件(6)。

3.根据权利要求2所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述晶圆ID读取装置还包括半透半反镜(7)，且所述第一反光组件(3)和所述第二反光组件(4)反射的光线均经过所述半透半反镜(7)。

4.根据权利要求3所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述第一反光组件(3)包括有第一反光镜(30)、第二反光镜(31)和第三反光镜(32)，所述晶圆一侧表面反射的光线依次经过所述第一反光镜(30)、第二反光镜(31)和第三反光镜(32)后进入所述半透半反镜(7)，被所述半透半反镜(7)反射的部分光线投射至所述成像组件(6)；及

所述第二反光组件(4)包括有第四反光镜(40)和第五反光镜(41)，所述晶圆另一侧表面反射的光线依次经过所述第四反光镜(40)和第五反光镜(41)后进入所述半透半反镜(7)，被所述半透半反镜(7)透射的部分光线投射至所述成像组件(6)。

5.根据权利要求4所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述第一反光组件(3)和所述第二反光组件(4)内的全部反光镜均设置为45度反射镜，且

沿晶圆的宽度方向，所述第一反光镜(30)和所述第二反光镜(31)左右相对设置；

沿晶圆的厚度方向，所述第二反光镜(31)和所述第三反光镜(32)上下相对设置；

沿晶圆的宽度方向，所述第三反光镜(32)和所述半透半反镜(7)的镜面左右相对设置；

沿晶圆的厚度方向，所述第一反光镜(30)和所述第四反光镜(40)上下相对设置；

沿晶圆的宽度方向，所述第四反光镜(40)和所述第五反光镜(41)左右相对设置。

6.根据权利要求2所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述选择组件(5)还包括用于驱动所述挡板(50)平移的驱动组件(51)，所述驱动组件(51)设置为线性执行机构。

7.根据权利要求6所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述晶圆ID读取装置还包括基座(8)，所述第一反光组件(3)、所述第二反光组件(4)和所述选择组件(5)均安装于所述基座(8)上，所述基座(8)上还开设有沿所述挡板(50)平移方向延伸的滑槽(80)，所述挡板(50)具有自所述滑槽(80)伸出并连接至所述驱动组件(51)的连接部。

8.根据权利要求1所述的晶圆ID读取装置，其特征在于，所述活动部件包括可转动反光镜(52)，所述第一反光组件(3)包括第一反光镜(30)，所述第一反光镜(30)将所述晶圆一侧表面反射的光线反射至所述可转动反光镜(52)；及

所述第二反光组件(4)包括第四反光镜(40)，所述第四反光镜(40)将所述晶圆另一侧表面反射的光线反射至所述可转动反光镜(52)；

所述可转动反光镜(52)能够在预设角度范围内转动，以选择性将所述第一反光镜(30)或所述第四反光镜(40)反射的光线投射至所述成像组件(6)。