[发明专利]一种直线运动调节机构

权利要求书

1.一种直线运动调节机构，其特征在于，包括线圈(1)和磁轴(2)，所述磁轴(2)穿设于所述线圈(1)，且通过所述线圈(1)通电使所述磁轴(2)沿所述线圈(1)的轴向移动，所述磁轴(2)为中空轴，且所述磁轴(2)的一端用于连接气体供给装置，另一端用于连接吸取部件。

2.根据权利要求1所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述直线运动调节机构还包括用于检测所述磁轴(2)位移量的检测模块。

3.根据权利要求2所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述检测模块包括光栅尺(31)，所述光栅尺(31)沿所述磁轴(2)的轴向设置，且所述光栅尺(31)的一端与所述磁轴(2)连接，所述光栅尺(31)上设有光栅读数头(32)。

4.根据权利要求3所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述线圈(1)上设有第一连接件(4)，所述光栅读数头(32)固定安装于所述第一连接件(4)上，所述光栅尺(31)滑动设置于所述第一连接件(4)上。

5.根据权利要求4所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述第一连接件(4)上滑动设有第二连接件(5)，所述光栅尺(31)安装于所述第二连接件(5)上。

6.根据权利要求5所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述第一连接件(4)上设有滑轨(6)，所述第二连接件(5)上设有与所述滑轨(6)匹配连接的滑块。

7.根据权利要求5所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述第二连接件(5)上开设有导向槽(7)，所述导向槽(7)沿所述磁轴(2)的轴向延伸，所述第一连接件(4)上设有导向块(8)，所述导向块(8)的一端置于所述导向槽(7)内。

8.根据权利要求1所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述线圈(1)的电流小于等于2.4A。

9.根据权利要求1所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述磁轴(2)的位移小于等于30mm。

10.根据权利要求1所述的直线运动调节机构，其特征在于，所述磁轴(2)的推力小于等于24N。