[发明专利]研磨机吸附台表面的清洁方法

权利要求书

1.一种研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述方法包括：

向吸附台表面供应给定液体，以通过所述给定液体对所述吸附台表面的孔隙进行填充；

在所述吸附台表面上浇筑聚合物，以使所述聚合物固化后包覆所述吸附台表面上的杂质颗粒，所述给定液体与所述聚合物不相溶；

将包覆有杂质颗粒的固化聚合物从所述吸附台表面上去除；

向吸附台表面供应给定液体，以通过所述给定液体对所述吸附台表面的孔隙进行填充，包括：

利用液体供应装置向所述吸附台表面供应给定液体，直至所述给定液体完全覆盖所述吸附台表面；

停止供应所述给定液体以使所述给定液体渗透并填充至所述吸附台表面的孔隙中；

停止供应所述给定液体以使所述给定液体渗透并填充至所述吸附台表面的孔隙中之后，还包括：

利用刮板刮去所述吸附台表面上多余的给定液体；

对所述吸附台表面进行烘干以保持所述吸附台表面干燥。

2.根据权利要求1所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述刮板由发泡聚氨酯材料制成。

3.根据权利要求1所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述给定液体为去离子水。

4.根据权利要求1所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，在所述吸附台表面上浇筑聚合物，以使所述聚合物固化后包覆所述吸附台表面上的杂质颗粒，包括：

将所述聚合物的本体和固化物以预定比例均匀混合，形成液态混合物；

将所述液态混合物浇筑在所述吸附台表面上，直至所述液态混合物完全覆盖所述吸附台表面；

固化所述液态混合物，形成固态聚合物且所述固态聚合物包覆有所述吸附台表面上的杂质颗粒。

5.根据权利要求4所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述液态混合物覆盖所述吸附台表面的厚度为2-4mm。

6.根据权利要求4所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述聚合物为热固性树脂。

7.根据权利要求6所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，所述预定比例为1:5-1:20。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的研磨机吸附台表面的清洁方法，其特征在于，固化所述液态混合物，包括：

利用手持式加热板，在25-30°的温度条件下对所述液态混合物加热50-80min，以使所述液态混合物固化。