[发明专利]一种快速工作台机构及其工作方法在审
申请号: | 202010444183.1 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN111785671A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 张旭东;徐晓明;丁马俊 | 申请(专利权)人: | 嘉兴微拓电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 314000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 工作台 机构 及其 工作 方法 | ||
1.一种快速工作台机构,其特征在于,包括:支撑平台、水平移动台、运行轨道、安装座、旋转吸盘、连接件和举升装置,所述支撑平台的上表面呈矩形设置,所述运行轨道沿所述支撑平台的长度方向设于所述支撑平台的上表面,所述水平移动台沿所述支撑平台的长度方向设置,所述水平移动台的一端可滑动地安装于所述滑动轨道上,所述水平移动台的另一端安装有一所述安装座,所述安装座沿竖直方向贯穿地设置有一容置空间,所述连接件呈圆柱形结构,所述连接件可转动地设于所述容置空间内,所述旋转吸盘设于所述连接件的上端,所述旋转吸盘的吸附端竖直向上设置,所述举升装置安装于所述安装座的下部,所述举升装置正对所述容置空间的下端,所述连接件的下端开设有一安装槽,所述举升装置的举升端设于所述安装槽内。
2.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,所述旋转吸盘包括:旋转套件、吸盘主体、旋转电机、第一吸气通道、第二吸气通道、吸气装置,所述选装套件固定安装于所述容置空间内,所述旋转套件呈套形结构,所述旋转套件的内缘与所述连接件的外缘相匹配,所述旋转电机嵌设于所述安装座内,且所述旋转电机的输出端穿过所述旋转套件与所述连接件的外壁传动连接,所述连接件在所述旋转电机的驱动下可转动地安装于所述旋转套件内,所述吸盘主体安装于所述连接件的上端,所述吸盘主体的吸气口与所述第一吸气通道的一端相连通,所述第一吸气通道设于所述连接件内,所述第一吸气通道的另一端垂直于所述连接件的外壁开设,且所述第一吸气通道的另一端贯穿地设于所述连接件的一侧的外壁上,所述第二吸气通道嵌设于所述旋转套件的内壁上,且所述第二吸气通道沿所述连接件的环向布置,所述连接件转动或升降时所述第一吸气通道的另一端始终与所述第二吸气通道相连通,所述第二吸气通道还与所述吸气装置连接,所述吸气装置设于所述安装座的一侧。
3.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,所述举升装置包括:升降马达、固定板和顶升杆,所述固定板固定安装于所述安装座的下表面,所述升降马达安装于所述固定板的下表面,所述固定板上开设有一升降孔,所述升降马达的输出轴穿过所述升降孔与所述顶升杆的下端固定连接,所述顶升杆与所述安装槽相匹配。
4.根据权利要求3所述的快速工作台机构,其特征在于,所述安装槽的内壁的上部沿环向设有一过盈环槽,所述顶升杆的上端设有一加强环,所述加强沿与所述过盈环槽相匹配,所述加强沿可转动地安装于所述过盈环槽内。
5.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,所述水平移动台包括:工作台和驱动装置,所述工作台的一端安装有所述安装座,所述工作台的下表面的两侧沿所述支撑平台的长度分别设有若干滚轮,每一所述滚轮均运行于所述运行轨道上,所述驱动装置设于所述工作台的另一端固定连接,所述工作台在所述驱动装置的驱动下沿所述运行轨道运行。
6.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,还包括不少于三个的产品定位组件,三所述产品定位组件分别布置于所述安装座的周围,且每一所述定位组件的下端均固定设于地面上,每一所述定位组件的上端均设有一柔性支撑件,每一所述柔性支撑件均抵于待检测产品的外缘的下表面。
7.根据权利要求6所述的快速工作台机构,其特征在于,三所述产品定位组件的布置位置分别设于呈以旋转吸盘的中心为圆心,以所述圆心为圆的内接等边三角形的三个顶点上。
8.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,还包括:检测组件,所述检测组件包括:门形支架、检测装置和检测探头,所述门型支架的下部的两端分别架设于所述支撑平台的两侧,所述检测装置安装于所述门型支架上,所述检测探头沿竖直方向安装于所述门型框架的上部,且所述检测探头的检测端竖直向下设置,所述检测探针正对所述旋转吸盘。
9.根据权利要求1所述的快速工作台机构,其特征在于,所述支撑平台采用大理石材料制成。
10.一种快速工作台机构的工作方法,其特征在于,包括权利要求1至9中任意一项所述的快速工作台机构,所述工作方法包括:
步骤S1:机械手夹持所述待测产品至所述产品定位组件上,此时所述待测产品所处位置为初始位置;
步骤S2:所述举升装置驱动所述旋转吸盘向上运动,直至吸盘主体与待测产品的下表面紧贴且所述待测产品脱离所述产品定位组件的支撑,并同时打开所述吸气装置进行吸气;
步骤S3:所述水平移动台带动所述待测产品沿所述运行轨道做速度为第一速度的直线运动;
步骤S4:当所述待测产品的外边缘进入所述检测探针的检测范围时,调整速度至第二速度,且所述第二速度小于所述第一速度,同时所述旋转电机驱动所述吸盘主体进行匀速旋转运动,所述检测探针开始检测作业,此时所述检测探针在所述待测产品的表面的运动呈阿基米德曲线形轨迹,直至所述检测探针运行至所述待测产品的中心点;
步骤S5:所述旋转电机停止运动,同时所述水平移动台沿所述运行轨道做速度为第三速度的直线运动,所述第三速度与所述第一速度等大反向,直至所述待测产品运动至所述初始位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造