[发明专利]激光直接成像设备有效
申请号: | 202010445965.7 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN111505916B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 龚双平;陈国军;马迪;吴景舟 | 申请(专利权)人: | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 周卫赛 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 直接 成像 设备 | ||
1.一种激光直接成像设备,其特征在于,包括:
工作台,所述工作台的台面设置有通孔,所述通孔内设置有带透光孔的遮光片,其中,所述遮光片为双层遮光片,包括透光层和匀光层,所述透光孔位于所述透光层;
激光装置,设置在所述工作台的台面下方并且所述激光装置的出光口对准所述通孔,用于通过所述通孔向曝光件发出光线形成对准标记,其中,所述激光装置的出光光斑面积大于所述透光孔的横截面面积,所述对准标记的大小与所述透光孔的大小一致;
图像采集装置,设置在所述工作台上方,用于采集曝光件上的对准标记;
计算机设备,与所述图像采集装置连接,用于根据所述图像采集装置采集到的对准标记计算曝光件的对准误差;
所述计算机设备包括:图像处理器,与所述图像采集装置连接,用于分别将A面标记与B面标记的位置图像进行归一化处理,以得到所述A面标记与所述B面标记的位置坐标,计算得到所述对准误差;所述激光直接成像设备还包括:机械臂,与所述计算机设备连接,用于根据所述对准误差,调节所述曝光件的位置,以实现所述曝光件的对准;
所述对准标记包括A面标记和B面标记,所述A面标记位于所述曝光件的A面,所述B面标记位于所述曝光件的B面;所述A面标记为实心图形,所述B面标记为环形图形。
2.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,所述通孔为阶梯状通孔,所述阶梯状通孔的上端开设有嵌入槽,所述遮光片可拆卸地嵌入在所述嵌入槽内。
3.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,所述激光装置设置有凸缘结构,所述凸缘结构上设置有螺孔,在所述螺孔内所述激光装置通过螺钉锁合固定在所述工作台上。
4.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,所述激光装置包括:紫外光光源和光学透镜,所述光学透镜设置在所述紫外光光源与所述遮光片之间。
5.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,所述透光孔的横截面面积小于所述通孔横截面的面积。
6.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,所述曝光件放置于所述工作台上,所述曝光件为PCB板,所述PCB板的两个表面均设置有干膜。
7.根据权利要求1所述的激光直接成像设备,其特征在于,还包括:
第一控制器,与所述图像采集装置和所述计算机设备分别连接,用于控制所述图像采集装置的图像采集位置;
第二控制器,与所述工作台和所述计算机设备分别连接,用于控制所述工作台移动;
其中,所述计算机设备还用于分别控制所述第一控制器和第二控制器,使得图像采集装置对准所述工作台上的曝光件上的对准标记。
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