[发明专利]晶圆预对位和晶圆ID读取方法、装置和计算机设备

说明书

本申请涉及一种晶圆预对位和晶圆ID读取方法、装置、计算机设备和可读存储介质，其中，所述方法包括：获取所述晶圆的边缘图像；根据所述边缘图像计算晶圆轮廓信息以及晶圆缺口位置信息；根据所述边缘图像、晶圆轮廓信息和晶圆缺口位置信息进行晶圆预对位以及读取晶圆ID。本申请提供的方法，通过将ID读取和预对位功能整合到一个模块中，晶圆预对位和晶圆ID读取两个流程可以同时进行，且可以避免机械手在预对位位置与ID读取位置之间搬运晶圆，简化了晶圆测试流程，提高晶圆测试的效率。

技术领域

本发明涉及集成电路测试设备技术领域，特别是涉及一种晶圆预对位和晶圆ID读取方法、装置和计算机设备。

背景技术

晶圆预对位和晶圆ID读取是晶圆测试设备的重要功能，晶圆在进行探针测试或者光检之前都要经过预对位检测晶圆中心位置和缺口方向，以调整晶圆的位置和角度，使晶圆放到测试工位的位置和角度满足要求。晶圆信息与晶圆ID相关联，因此，读取晶圆ID也是晶圆测试流程中的重要步骤。

目前进行晶圆预对位和晶圆ID读取通常需要预对位装置和ID读取装置两个独立的模块，晶圆先进行预对位后再依靠机械手搬运到相机下读取ID，流程繁琐。尤其是当读取ID的晶圆缺口角度与晶圆放到测试工位的角度要求不同时，读取ID后还要放回预对位模块上进行角度调整，效率低下。因此需要设计一套兼具预对位及ID读取功能的装置以提高晶圆测试效率。

发明内容

本申请提供一种晶圆预对位和晶圆ID读取方法、装置和计算机设备，可以简化晶圆测试流程，提高晶圆测试的效率。

一种晶圆预对位和晶圆ID读取方法，所述方法包括：

获取所述晶圆的边缘图像；

根据所述边缘图像计算晶圆轮廓信息以及晶圆缺口位置信息；

根据所述边缘图像、晶圆轮廓信息和晶圆缺口位置信息进行晶圆预对位以及读取晶圆ID。

在其中一个实施例中，所述获取所述晶圆的边缘图像包括：

控制线阵相机以预设采集频率采集放置在旋转平台上晶圆的多个单行图像；

根据多个所述单行图像得到所述晶圆的边缘图像。

在其中一个实施例中，所述根据多个所述单行图像得到所述晶圆的边缘图像包括：

获取多个所述单行图像的存储地址；

根据所述存储地址，对多个所述单行图像合成处理得到所述晶圆的边缘图像。

在其中一个实施例中，所述预设采集频率与所述旋转平台的旋转速度匹配。

在其中一个实施例中，根据所述边缘图像计算所述晶圆的晶圆轮廓信息以及晶圆缺口位置信息包括：

根据所述边缘图像提取轮廓得到晶圆轮廓信息；

根据所述晶圆轮廓信息查找晶圆缺口位置信息。

在其中一个实施例中，所述根据所述边缘图像、晶圆轮廓信息和晶圆缺口位置信息进行晶圆预对位以及读取晶圆ID包括：

获取晶圆缺口与晶圆ID的相对位置信息；

根据所述边缘图像、晶圆缺口与晶圆ID的相对位置信息以及晶圆缺口位置信息，确定晶圆ID位置信息；

根据所述边缘图像以及晶圆ID位置信息读取所述晶圆ID；

根据所述晶圆轮廓信息计算所述晶圆偏心量；

根据所述偏心量进行晶圆预对位。

在其中一个实施例中，利用字符识别算法读取所述晶圆ID。

一种晶圆预对位和晶圆ID读取装置，所述装置包括：