[发明专利]微机电系统接触器弹簧

权利要求书

1.一种设备，其包含：

衬底；

支撑件，其耦合到所述衬底；

第一元件，其包含接触器弹簧，所述接触器弹簧具有耦合到所述支撑件的第一部分且具有包含具有倾斜表面的空腔的第二部分，其中随着所述倾斜表面远离所述第一部分延伸，从所述倾斜表面到所述衬底的游隙变宽，且其中所述第二部分包含邻近所述倾斜表面的第一接触表面；及

第二元件，其耦合到所述衬底，所述第二元件包含邻近所述第一接触表面的第二接触表面，其中所述第一元件及所述第二元件中的一者经配置以在第一方向上移动以将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤在一起，且其中所述第一元件及所述第二元件中的所述一者经配置以在第二方向上移动以将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤开。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述接触器弹簧经配置以在所述第一方向上的第一移动期间将从所述第二元件接收的能量转换为存储能量，并且经配置以在所述第二方向上的第二移动期间释放所述存储能量。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一元件包含延伸臂，所述延伸臂耦合在所述接触器弹簧与所述支撑件之间，其中在所述延伸臂与所述衬底之间存在空隙。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述延伸臂经配置以在所述第一方向上的第一移动期间将从所述第二元件接收的能量转换为存储能量，并且经配置以在所述第二方向上的第二移动期间释放所述存储能量。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述延伸臂包含邻近所述衬底的第一表面，且包含邻近所述第二元件的第二表面，其中所述接触器弹簧包含邻近所述第二元件的第三表面，且其中从所述第二表面的第一点到所述第二元件的第一距离小于从所述第三表面的第二点到所述第二元件的第二距离。

6.根据权利要求5所述的设备，其中在所述第一接触表面与所述第二接触表面分开的配置中，所述第一距离小于所述第二距离。

7.根据权利要求5所述的设备，其中所述接触器弹簧包含设计特征，所述设计特征的长度小于经施加以图案化通过其形成所述空腔的光致抗蚀剂层的能量的波长。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述设计特征是所述空腔的曲率深度的改变。

9.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括形成在所述衬底中的存储器单元，其中所述第二元件是经配置以响应于所述存储器单元的存储器状态而反射光的镜。

10.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括耦合到所述第一或第二元件的平面表面的减小的接触表面，其中所述第一或第二元件的所述平面表面邻近所述衬底，其中在所述减小的接触表面与所述衬底之间存在空隙。

11.根据权利要求10所述的设备，其中所述减小的接触表面从所述第一或第二元件的所述平面表面并朝向所述衬底延伸。

12.根据权利要求10所述的设备，其中所述减小的接触表面是扭转弹簧的辅助铰链支撑件，所述第二元件经配置以围绕所述扭转弹簧在所述第一方向及所述第二方向上移动。

13.根据权利要求10所述的设备，其中所述减小的接触表面包含使用灰度光刻法图案化的次分辨率特征。

14.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括第一及第二电极，其中所述第二元件经配置以响应于由所述第一电极分布的第一静电场而在所述第一方向上移动，且其中所述第二元件经配置以响应于由所述第二电极分布的第二静电场而在所述第二方向上移动。