[发明专利]微机电系统接触器弹簧

说明书

本申请案的实施例涉及一种微机电系统接触器弹簧。在所描述实例中，一种系统(例如，微机电系统(200))包含衬底(208)、耦合到所述衬底(208)的支撑件(210)以及第一元件(203)及第二元件(201)。所述第一元件(203)包含接触器弹簧(204)，其具有耦合到所述支撑件的第一部分且具有包含具有倾斜表面的空腔的第二部分。随着所述倾斜表面远离所述第一部分延伸，从所述倾斜表面到所述衬底(208)的游隙变宽。所述第二部分包含邻近所述倾斜表面的第一接触表面。所述第二元件(201)耦合到所述衬底并且具有邻近所述第一接触表面的第二接触表面。所述第一元件(203)及所述第二元件(201)中的一者适于：在第一方向上将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤在一起；并且在第二方向上将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤开。

技术领域

本申请案的实施例涉及一种微机电系统接触器弹簧。

背景技术

微机电系统(MEMS)可包含例如致动器、开关、电动机、传感器、可变电容器及空间光调制器(SLM)等的装置。MEMS装置可制造在衬底上。为保护此类装置，在制造期间在衬底上形成侧壁以形成可密封空腔，使得空腔内的结构及装置可与外部环境相对隔离。然而，污染物可能会逐渐迁移到空腔中，并且可能会与空腔内包含的装置发生反应或以其它方式干扰所述装置的正常操作。

发明内容

在所描述实例中，一种系统(例如，微机电系统)包含衬底、耦合到衬底的支撑件以及第一元件及第二元件。所述第一元件包含接触器弹簧，其具有耦合到所述支撑件的第一部分且具有包含具有倾斜表面的空腔的第二部分。随着所述倾斜表面远离所述第一部分延伸，从所述倾斜表面到所述衬底的游隙变宽。所述第二部分包含邻近所述倾斜表面的第一接触表面。所述第二元件耦合到所述衬底并且具有邻近所述第一接触表面的第二接触表面。所述第一元件及所述第二元件中的一者适于：在第一方向上将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤在一起；并且在第二方向上将所述第一接触表面及所述第二接触表面推挤开。

附图说明

图1展示实例图像显示系统的代表性组件。

图2是图1的图像显示系统的像素调制器元件的实例结构的分解图。

图3展示沿实例像素元件的对角铰链轴截取的横截面。

图4及图5分别是包含倾斜到12度倾斜角的实例微镜的图2的实例像素结构的正投影视图及正视图。

图6A、图6B及图6C展示实例像素调制器元件上的实例毛细管凝聚。

图7是图2的实例像素调制器元件的透视俯视图。

图8A到图8K是展示实例弹簧尖端的实例减小的接触表面的形成的横截面图。

图9展示实例弹簧尖端的实例减小的接触表面。

具体实施方式

在图式中，相似参考数字指代相似元件，并且各种特征不必按比例绘制。

微机电系统(MEMS)装置(例如致动器、开关、电动机、传感器、可变电容器及空间光调制器)可具有可移动元件。举例来说，空间光调制器(SLM)装置可包含可移动元件(例如，像素调制器元件)阵列。每一此类元件可为可个别寻址的光调制器元件，其中响应于输入数据设置“开”或“关”位置。输入数据可为图像信息，其用于对阵列的个别光调制器元件进行编程以投射从照明源指向阵列的光或使所述光转向。