[发明专利]化学液体纯化装置及使用所述装置的纯化方法

权利要求书

1.一种化学液体纯化装置，包括：

槽体，具有连通至所述槽体内的存储空间的液体通道口及循环口；

回流管，所述回流管的一端连接至所述循环口且另一端延伸至所述存储空间；

液体运送泵及过滤装置，位于所述槽体外部且位于所述液体通道口与所述循环口之间；以及

管道，将所述液体运送泵及所述过滤装置连接至所述液体通道口及所述循环口。

2.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，还包括：

抽取管，所述抽取管的一端连接至所述液体通道口且另一端延伸至所述存储空间的底部。

3.根据权利要求2所述的化学液体纯化装置，其中所述回流管及所述抽取管的液体接触表面是由氟树脂制成。

4.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述过滤装置包括至少第一滤心及第二滤心，所述第一滤心位于所述第二滤心与所述液体通道口之间，且所述第二滤心位于所述第一滤心与所述循环口之间。

5.根据权利要求4所述的化学液体纯化装置，其中所述第一滤心及所述第二滤心具有100纳米以下的孔径。

6.根据权利要求5所述的化学液体纯化装置，其中所述第一滤心的所述孔径为R1且所述第二滤心的所述孔径为R2，并且R1≧R2。

7.根据权利要求5所述的化学液体纯化装置，其中所述第一滤心的所述孔径为R1且所述第二滤心的所述孔径为R2，并且R1R2。

8.根据权利要求4所述的化学液体纯化装置，其中所述第一滤心及所述第二滤心是由氟树脂制成。

9.根据权利要求4所述的化学液体纯化装置，其中所述第一滤心与所述第二滤心是由不同的材料制成。

10.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述槽体的液体接触表面是由氟树脂制成。

11.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述液体运送泵是选自由离心泵、混流泵及轴流泵组成的群组的非容积型泵。

12.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述液体运送泵是离心泵。

13.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述管道的液体接触表面是电解抛光的不锈钢。

14.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述槽体是可移动型槽体。

15.根据权利要求14所述的化学液体纯化装置，其中所述槽体是槽车的槽体。

16.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述回流管的长度对所述槽体的高度的比率介于1:10至2:10的范围内。

17.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，其中所述槽体还包括位于所述槽体的顶部上的人孔及气孔。

18.根据权利要求1所述的化学液体纯化装置，还包括支架及轮组，所述支架及所述轮组安装在所述槽体的底部处，分别靠近所述槽体的前端及后端，且被配置成协同地将所述槽体支撑在地面上。

19.一种使用如权利要求1所述的化学液体纯化装置的纯化方法，包括：

通过以下方式对所述槽体中的化学液体进行纯化：经由所述液体通道口自所述存储空间内部提取所述化学液体，且使所述化学液体经由所述管道通过所述液体运送泵及所述过滤装置，以及使经过滤的所述化学液体经由所述回流管返回至所述存储空间。

20.根据权利要求19所述的化学液体纯化装置的纯化方法，其中所述槽体是经由气孔用氮气吹洗，且所述化学液体是在施加正压力时被纯化。