[发明专利]光刻胶组合物及其制备方法

说明书

本发明公开一种光刻胶组合物及其制备方法。该光刻胶组合物包括酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。其中酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂。第一线性酚醛树脂具有较高的感光度，第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂具有较高的耐热温度。三种酚醛树脂相互配合，协同作用，能够使得光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种光刻胶组合物及其制备方法。

背景技术

光刻工艺是制作精细图形的一种常见工艺。利用光刻工艺制作精细图形时，需要先在基板上依次形成待刻蚀的膜层和光刻胶层(也可称作光致抗蚀剂)，然后对光刻胶层依次进行曝光和显影等工序，获得所需的光刻胶图形。之后，以光刻胶图形作为掩膜(即保护层)，对待刻蚀的膜层表面被光刻胶图形露出的区域进行刻蚀，以去除待刻蚀的膜层中位于该区域的部分；剥离残留的光刻胶图形后，即可在待刻蚀的膜层上上形成与光刻胶图形一致的基板图形。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻胶组合物及其制备方法，用于使光刻胶组合物具有较高的耐热温度的同时，还具有较高的感光度。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种光刻胶组合物。该光刻胶组合物包括：酚醛树脂组合物、感光化合物和有机溶剂。

所述酚醛树脂组合物包括：第一线性酚醛树脂、第二线性酚醛树脂和第三线性酚醛树脂；其中，

所述第一线性酚醛树脂的结构通式为(式1)：

所述第二线性酚醛树脂的结构通式为式(2)：

所述第三线性酚醛树脂的结构通式为式(3)：

其中，n₁，n₂和n₃均为正整数，且n₁的数值在15～60的范围内，n₂的数值在20～200的范围内；n₃的数值在20～400的范围内。

示例的，所述第一线性酚醛树脂的质量占所述酚醛树脂组合物总质量的10％～50％；

所述第二线性酚醛树脂的质量占所述酚醛树脂组合物总质量的10％～50％；

所述第三线性酚醛树脂的质量占所述酚醛树脂组合物总质量的10％～50％。

具体的，所述第一线性酚醛树脂与所述第二线性酚醛树脂的质量比为(1～2)：2；和/或，

所述第一线性酚醛树脂与所述第三线性酚醛树脂的质量比为(1～2)：2。

示例的，所述感光化合物的结构通式为式(4)：

其中，R₁，R₂、R₃和R₄中，至少三个中的任一个的结构式为式(5)或式(6)，其余为氢原子；

具体的，所述R₁、R₂、R₃和R₄中至少三个的结构式为式(5)，其余为氢原子。

作为一种示例，光刻胶组合物还包括添加剂；

所述酚醛树脂组合物的质量占所述光刻胶组合物总质量的10％～20％；

所述感光化合物占所述光刻胶组合物总重量的1％～10％；