[发明专利]压力传感器的性能测试方法、装置以及存储介质有效

专利信息
申请号: 202010465051.7 申请日: 2020-05-26
公开(公告)号: CN111678641B 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 姜琳琳;孙振国 申请(专利权)人: 荣成歌尔电子科技有限公司
主分类号: G01L27/00 分类号: G01L27/00
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 梁馨怡
地址: 264200 *** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 压力传感器 性能 测试 方法 装置 以及 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述方法包括:

在第一预设温度下,获取在环境压力为第二预设压力值时待测压力传感器的芯片对应的第一实际温度值以及所述待测压力传感器检测到的第一实际压力值;

在第二预设温度下,获取在环境压力为第二预设压力值时所述待测压力传感器的芯片对应的第二实际温度值以及所述待测压力传感器检测到的第二实际压力值,其中,所述第一预设温度大于所述第二预设温度;

根据所述第一实际温度值、所述第一实际压力值、所述第二实际温度值以及所述第二实际压力值获取温度漂移值;

在所述温度漂移值小于或等于预设温度漂移值时,在第一预设温度下,向所述待测压力传感器施加第一预设压力值的压力冲击;所述第一预设压力值的单位级别为ATM;

获取所述待测压力传感器的性能参数;

若所述性能参数满足预设条件,则在所述第一预设温度下,对所述待测压力传感器进行压力测试,以得到测试结果;

根据所述测试结果确定所述待测压力传感器的性能信息。

2.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述在所述第一预设温度下,对所述待测压力传感器进行压力测试,以得到测试结果的步骤包括:

在所述第一预设温度下,依次获取在压力环境为110 Kpa、85 Kpa、30 Kpa、85 Kpa时所述压力传感器检测到的第一测试压力值;

获取所述压力传感器检测到各个所述第一测试压力值与其对应的压力值之间的差值,根据所述差值确定所述测试结果。

3.如权利要求2所述的压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述根据所述差值确定所述测试结果的步骤包括:

若所述差值处于预设压力范围内,确定所述待测压力传感器的性能正常;

若所述差值处于预设压力范围外,确定所述待测压力传感器的性能异常。

4.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述压力测试为先降压再升压时,所述在所述第一预设温度下,对所述待测压力传感器进行压力测试,以得到测试结果的步骤包括:

在所述第一预设温度下,将环境压力由110 Kpa降至85 Kpa,并获取在环境压力为85Kpa时所述压力传感器检测到的第二测试压力值;

在所述第一预设温度下,将环境压力由30 Kpa升至85 Kpa,并获取在环境压力为85Kpa时所述压力传感器检测到的第三测试压力值;

根据所述第二测试压力值与所述第三测试压力值之间的差值确定所述测试结果。

5.如权利要求1所述的压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述根据所述第一实际温度值、所述第一实际压力值、所述第二实际温度值以及所述第二实际压力值获取温度漂移值的步骤包括:

获取所述第一实际压力值与所述第二实际压力值的压力差值的绝对值;

获取所述第一实际温度值与所述第二实际温度值的温度差值的绝对值;

以所述压力差值的绝对值以及所述温度差值的绝对值之间的比值作为所述温度漂移值。

6.如权利要求5所述的压力传感器的性能测试方法,其特征在于,所述方法还包括:

在第二预设温度下,分别获取在环境压力为40 Kpa、85 Kpa、95 Kpa以及105 Kpa时所述压力传感器检测到的第四测试压力值;

在第三预设温度下,分别获取在环境压力为40Kpa、95Kpa以及105Kpa时所述压力传感器检测到的第五测试压力值,其中,所述第三预设温度大于所述第二预设温度;

在各个所述第四测试压力值与其对应的压力值之间的差值在预设范围内时,以及在各个所述第五测试压力值与其对应的压力值之间的差值在预设范围内时,执行所述在第一预设温度下,获取在环境压力为第二预设压力值时所述待测压力传感器的芯片对应的第一实际温度值以及所述待测压力传感器检测到的第一实际压力值的步骤。

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