[发明专利]一种光学传感器

说明书

本揭示内容提出一种光学传感器。所述光学传感器包括基材、晶体管、介电层、第一电极、光电二极管、第二电极及间隙。晶体管设在所述基材上。介电层设在所述晶体管上。第一电极设在所述介电层上，且包括与所述晶体管电性连接的凹形部。第二电极设在第一电极上，且光电二极管设在第一电极与第二电极间。所述间隙被第一电极的凹形部环绕，且被第一电极或第二电极密封。

技术领域

本揭示内容是关于半导体结构，且特别是关于光学传感器结构。

背景技术

触控屏幕是一种输入与输出装置，其通常层迭在一电子视觉显示器上。使用者可通过以一或多只手指、触控笔或特殊笔触碰来取代或代替鼠标或远端控制装置，以便输入信息或控制信息处理系统。触控屏幕使得使用者能够直接和所显示的画面互动，而非使用鼠标、键盘或其他此类装置(触控笔除外，触控笔是大多数现代触控屏幕的选配装置)。由于其具备可携带、容易使用与控制等易于行销的特征，此类特征对于高龄使用者与儿童特别重要，触控屏幕提供了高度便利性，且已成为消费性显示器市场的主流产品。

揭示内容

针对现有技术中存在的技术问题，本揭示提出了一种光学传感器。所述光学传感器包括基材、晶体管、介电层、第一电极、光电二极管、第二电极及间隙。晶体管设在所述基材上。介电层设在所述晶体管上。第一电极设在所述介电层上，且包括与所述晶体管电性连接的凹形部。第二电极设在第一电极上，且光电二极管设在第一电极与第二电极间。所述间隙被第一电极的凹形部环绕，且被第一电极或第二电极密封。

在本揭示内容一实施方式中，光电二极管及第二电极的一部分衬接第一电极的凹形部，该间隙被第二电极密封。

在本揭示内容一实施方式中，第二电极包括第一部分，衬接光电二极管及第一电极的凹形部；以及第二部分，覆盖第一部分以密封间隙。

在本揭示内容一实施方式中，该第二部分的厚度大于第二电极的第一部分的厚度。

在本揭示内容一实施方式中，第二电极的第二部分包括第一凸部，设在间隙上方并朝间隙相反向突起。

在本揭示内容一实施方式中，所述光学传感器还包括抗反射层，设在第二电极的第一凸部上方。

在本揭示内容一实施方式中，第二电极的第二部分包括第二凸部，其设在间隙上方，与第一凸部相邻，并朝向间隙而突起。

在本揭示内容一实施方式中，第二电极的厚度大于第一电极的厚度。

在本揭示内容一实施方式中，第一电极还包括帽盖部覆盖该凹形部，且间隙被帽盖部与第一电极的凹形部所密封。

在本揭示内容一实施方式中，帽盖部的厚度大于第一电极的凹形部的厚度。

在本揭示内容一实施方式中，第一电极的帽盖部包括凹面部分，其设在间隙上方并朝向间隙。

在本揭示内容一实施方式中，第一电极的帽盖部包括一凸部，设在间隙上方并远离间隙而突起。

在本揭示内容一实施方式中，光电二极管衬接第一电极，且包括一凸部设在第一电极的凸部上方。

在本揭示内容一实施方式中，第二电极衬接光电二极管，且包括一凸部，其与光电二极管的凸部相应。

在本揭示内容一实施方式中，所述光学传感器还包括抗反射层，其衬接光电二极管且包括设在光电二极管的凸部上方的一凸部。

在本揭示内容一实施方式中，第一电极的厚度大于第二电极的厚度。

在本揭示内容一实施方式中，密封间隙的第一电极或第二电极包括远离间隙的一上表面，且上表面有一凹陷部分与间隙重叠。

在本揭示内容一实施方式中，所述晶体管为薄膜晶体管，且第一电极电性连接至晶体管的源极/漏极区域。