[发明专利]基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法

权利要求书

1.一种基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、石墨舟就位：经过插取片机插好片的石墨舟(1)通过传送机构移动至PECVD的净化台下方；

S2、石墨舟上缓存架：机械手抓取石墨舟(1)放到净化台的缓存架(2)上等待，缓存架(2)上设有多个缓存位(21)，所述缓存位(21)用于放置石墨舟(1)，所述缓存架(2)的每个缓存位(21)对应设有镀膜检测装置(5)；

S3、进舟前镀膜检测：对缓存架(2)上的各石墨舟(1)内的硅片进行是否有镀膜的检测，如无镀膜，反馈给机械手，待反应室(3)有空位，机械手抓取缓存架(2)上无镀膜的石墨舟(1)放到推舟机构(4)上；

S4、石墨舟进反应室：推舟机构(4)将石墨舟(1)送入反应室(3)，进行镀膜工艺；

S5、石墨舟出反应室：工艺结束，推舟机构(4)进入反应室(3)取出石墨舟(1)，机械手抓取工艺后的石墨舟(1)放至缓存架(2)上冷却；

S6、取片前镀膜检测：冷却结束，对缓存架(2)上的各石墨舟(1)内的硅片进行是否有镀膜的检测，如有镀膜，反馈给机械手，机械手抓取缓存架(2)上有镀膜的石墨舟(1)放至净化台下方的传送机构上；

S7、石墨舟返回插取片机：传送机构将石墨舟(1)送回插取片机进行取片，并进入下一工序。

2.根据权利要求1所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述步骤S3中，镀膜的检测之后，对无镀膜的各石墨舟(1)进行计时，并反馈给机械手，待反应室(3)有空位，机械手抓取计时先结束的无镀膜的石墨舟(1)放到推舟机构(4)上；所述步骤S6中，镀膜的检测之后，对有镀膜的各石墨舟(1)石墨舟进行计时，并反馈给机械手，机械手抓取计时先结束的有镀膜的石墨舟(1)放在传送机构上。

3.根据权利要求1所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述步骤S3和步骤S6中，镀膜检测方法为：检测探头(52)伸入缓存架(2)上的石墨舟(1)内相邻两个舟片(11)之间，检测舟片(11)上的硅片的颜色，若颜色为灰色表示没有镀膜，否则就是有镀膜。

4.根据权利要求3所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述缓存架(2)的每个缓存位(21)对应设有镀膜检测装置(5)，所述镀膜检测装置(5) 包括升降驱动(51)和所述检测探头(52)，所述升降驱动(51)固定在缓存位(21)处，所述检测探头(52)设于升降驱动(51)的驱动端，并在升降驱动(51)的带动下插入石墨舟(1)内。

5.根据权利要求4所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述升降驱动(51)为升降气缸，所述检测探头(52)通过探头支架(53)固定在升降气缸的活塞杆上。

6.根据权利要求4所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述镀膜检测装置(5)还包括光源(54)，所述光源(54)设于探头支架(53)安装检测探头(52)的这一端。

7.根据权利要求4所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述镀膜检测装置(5)设于缓存位(21)的一端部，且位于缓存位(21)上石墨舟(1)的下方，检测时，升降驱动(51)带动检测探头(52)上升插入石墨舟(1)内。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，其特征在于，所述推舟机构(4)上设置辅助支撑(7)，所述辅助支撑(7)包括支撑座(71)和支撑杆(72)，所述支撑座(71)固定在推舟机构(4)的水平移动模组(41)的下方，所述支撑杆(72)安装在支撑座(71)上，所述推舟机构(4)的推舟桨(42)悬空一端可搭在支撑杆(72)上。