[发明专利]基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置

权利要求书

1.一种基板载具，其特征在于，包括：

第一载板；

第二载板，所述第二载板与所述第一载板的外轮廓相同，所述第二载板为中空框架状，所述第二载板在垂直于所述第一载板的方向上与所述第一载板平行重叠设置；

支撑部，设置在所述第一载板与所述第二载板之间，以使所述第一载板与所述第二载板相互间隔，所述支撑部与所述第一载板和所述第二载板之间形成有适于取放基板的开口。

2.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述第一载板和所述第二载板的外轮廓呈矩形。

3.根据权利要求2所述的基板载具，其特征在于，所述支撑部为围绕所述第一载板和所述第二载板的矩形外轮廓的至少一个侧边的侧壁，以在所述第一载板和所述第二载板剩余侧边形成所述开口。

4.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述第一载板、所述第二载板和所述支撑部呈一体状。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述第一载板为中空框架状。

6.根据权利要求5所述的基板载具，其特征在于，还包括：

第三载板，所述第三载板与所述第一载板和所述第二载板的外轮廓相同，所述第三载板设置在所述第一载板和所述第二载板之间，且与所述第一载板和所述第二载板平行重叠设置，所述第三载板与所述第一载板和所述第二载板相互间隔，以将所述开口分隔为适于取放基板的两个开口。

7.根据权利要求6所述的基板载具，其特征在于，所述第一载板、所述第二载板、所述第三载板和所述支撑部呈一体状。

8.根据权利要求6所述的基板载具，其特征在于，所述第三载板为中空框架状。

9.一种基板载具阵列，其特征在于，包括：

多个根据权利要求1-8中任一项所述的基板载具；

其中，多个所述基板载具具有相同外轮廓，多个所述基板载具在同一平面上以2*n的阵列排列，所述开口设置在所述基板载具阵列的列方向上的两侧，其中n为大于或等于1的整数。

10.一种气相沉积装置，其特征在于，包括根据权利要求9所述的基板载具阵列。

11.根据权利要求10所述的气相沉积装置，其特征在于，所述基板载具阵列为多个，多个所述基板载具阵列平行重叠间隔设置。

12.根据权利要求10或11所述的气相沉积装置，其特征在于，所述基板载具阵列水平设置。