[发明专利]一种静电检测装置和静电检测系统

说明书

本发明实施例公开了一种静电检测装置和静电检测系统，静电检测装置包括静电检测结构，静电检测结构包括多个静电检测单元；静电检测单元包括至少一个第一导电膜、第二导电膜和介质；第一导电膜和第二导电膜均为孤立导电膜；第一导电膜包括相互靠近第二导电膜的一侧的第一放电部，第一放电部包括至少一个第一放电分支，第一放电分支、介质和第二导电膜形成一条放电路径；第一放电分支包括靠近第一导电本体部一侧的第一端和靠近第二导电膜一侧的第二端，沿第一方向，第一端的延伸长度大于第二端的延伸长度，第一方向与第一导电膜指向第二导电膜的方向垂直，如此可以实现对面板生产过程中的静电检测，且静电检测装置结构简单，静电检测灵敏度高。

技术领域

本发明实施例涉及静电检测技术领域，尤其涉及一种静电检测装置和静电检测系统。

背景技术

在制造面板结构的过程中，机台或面板结构内易产生静电累积的现象。当电荷累积到一定数量后，便可能因为静电放电(Electrostatic Discharge，ESD)而导致面板结构内的元件遭受破坏。

现有技术中的静电破坏检测方法主要有两种，一种是固定式静电压探头，通过把静电压测试探头固定在产线的某一固定点，测试从其上方流过的玻璃上相对大地的静电压；另一种是流动式静电压仪器，采用一带感应器的软线路侦测电路，贴在玻璃上跟随传动玻璃来测试玻璃在设备上传动过程中玻璃上的电压。

但是，静电压测试值与产生静电损伤的电场强度存在相关性不足的问题，一方面体现在现有的对显示面板在生产过程中的静电监测均通过测试面板玻璃表面的静电压来进行，但玻璃表面上的电路在半成品阶段静电风险为孤立导体间的水平方向强电场导致的击穿；另一方面，现有的静电监控探头的空间分辨率在毫米级，玻璃上孤立导体间距在微米级，在孤立导体间隙处监测的电压为包含了两个孤立导体的电压贡献，不能分辨两个孤立导体的电势差；再一方面，电压探头的测试值与两孤立导体间的电场强度可能出现负相关：例如玻璃在传动过程中，靠近接地区域的玻璃上的孤立导体电位将降低，电压探头的读值也降低，但两孤立导体间的电势差变大，两孤立导体间的电场强度变大。并且，现有的监控仪器不能耐高温(65℃)，而面板工序中包含超500℃的工段；现有的监控仪器不能用在带溶剂工段，而面板工序中包含所禁止的溶剂的工段；现有的监控仪器不在真空环境中(导致干燥)使用，而面板工序包含真空工段。因此，现有技术中的静电破坏检测方法远不能适应面板结构制备过程中的检测检测。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种静电检测装置和静电检测系统，实现对面板生产工艺中的静电检测。

第一方面，本发明实施例提供了一种静电检测装置，包括衬底以及位于所述衬底一侧的静电检测结构，所述静电检测结构包括多个静电检测单元；

所述静电检测单元包括至少一个第一导电膜、第二导电膜以及分别连接所述第一导电膜和所述第二导电膜的介质；所述第一导电膜和所述第二导电膜均为孤立导电膜；

所述第一导电膜包括相互连接的第一导电本体部和第一放电部，所述第一放电部位于靠近所述第二导电膜的一侧；所述第一放电部包括至少一个第一放电分支，所述第一放电分支、所述介质和所述第二导电膜形成一条放电路径；

所述第一放电分支包括靠近所述第一导电本体部一侧的第一端和靠近所述第二导电膜一侧的第二端，沿第一方向，所述第一端的延伸长度大于所述第二端的延伸长度；其中，所述第一方向与所述第一导电膜指向所述第二导电膜的方向垂直。

第二方面，本发明实施例还提供了一种静电检测系统，包括第一方面所述的静电检测装置，还包括影像检测装置；

所述影像检测装置用于对所述静电检测装置进行影像检测，检测所述第一导电膜和/或所述第二导电膜是否出现缺损。