[发明专利]热隔绝电接触探针及受热台板总成有效
申请号: | 202010472258.7 | 申请日: | 2016-04-18 |
公开(公告)号: | CN111586904B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 麦可·A·斯库拉么尔 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H05B3/14 | 分类号: | H05B3/14;H01R13/24;H05B3/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔绝 接触 探针 受热 总成 | ||
1.一种热隔绝电接触探针,其特征在于,包括:
安装板,具有管状的销引导件,所述销引导件界定销通路;
绝缘销,安置于所述销通路内并界定导体通路,所述绝缘销具有空腔部,所述空腔部界定空腔;
弹簧,安置于所述安装板与所述绝缘销的凸缘部的中间,所述弹簧使所述凸缘部偏置离开所述安装板;
电接触垫,由所述绝缘销支持且自所述导体通路突出,所述电接触垫设置在所述空腔内;以及
电导体,耦合至所述电接触垫且延伸贯穿所述导体通路,
所述空腔的直径比所述电接触垫的直径大,以允许所述电接触垫在所述空腔内水平地移动。
2.根据权利要求1所述的热隔绝电接触探针,其特征在于,所述空腔的直径比所述电接触垫的直径大至少0.010英寸。
3.根据权利要求2所述的热隔绝电接触探针,其特征在于,在所述空腔和所述导体通路的接合处界定有环形的凸肩,所述凸肩作为用于限制所述电接触垫移动的行进止挡件。
4.根据权利要求1所述的热隔绝电接触探针,其特征在于,所述销通路的直径比延伸贯穿所述销通路的所述绝缘销的杆部的直径大至少0.0015英寸,以在所述杆部与所述销引导件之间建立自由移行配合并允许所述杆部在所述销通路内倾斜。
5.根据权利要求1所述的热隔绝电接触探针,其特征在于,所述弹簧是环绕所述销引导件的螺旋弹簧。
6.根据权利要求5所述的热隔绝电接触探针,其特征在于,所述弹簧位于所述安装板中的环状沟槽中。
7.一种受热台板总成,其特征在于,包括:
受热台板;
基座,耦合至所述受热台板;
热屏蔽件,安置于所述受热台板与所述基座的中间且耦合至所述受热台板及所述基座;
电接触探针,耦合至所述基座并延伸贯穿所述基座及所述热屏蔽件,所述电接触探针包括:
安装板,具有管状的销引导件,所述销引导件界定销通路;
绝缘销,安置于所述销通路内并界定导体通路,所述绝缘销具有空腔部,所述空腔部界定空腔;
电接触垫,由所述绝缘销支持且自所述导体通路突出,所述电接触垫设置在所述空腔内;
电导体,耦合至所述电接触垫且延伸贯穿所述导体通路;以及
弹簧,安置于所述安装板与所述绝缘销的凸缘部的中间,所述弹簧使所述凸缘部偏置离开所述安装板并使所述电接触垫保持啮合所述受热台板的背面上的金属化层,
所述空腔的直径比所述电接触垫的直径大,以允许所述电接触垫在所述空腔内水平地移动。
8.根据权利要求7所述的受热台板总成,其特征在于,所述空腔的直径比所述电接触垫的直径大至少0.010英寸。
9.根据权利要求8所述的受热台板总成,其特征在于,在所述空腔和所述导体通路的接合处界定有环形的凸肩,所述凸肩作为用于限制所述电接触垫移动的行进止挡件。
10.根据权利要求7所述的受热台板总成,其特征在于,所述销通路的直径比延伸贯穿所述销通路的所述绝缘销的杆部的直径大至少0.0015英寸,以在所述杆部与所述销引导件之间建立自由移行配合并允许所述杆部在所述销通路内倾斜。
11.根据权利要求7所述的受热台板总成,其特征在于,所述弹簧是环绕所述销引导件的螺旋弹簧。
12.根据权利要求11所述的受热台板总成,其特征在于,所述弹簧位于所述安装板中的环状沟槽中。
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