[发明专利]热隔绝电接触探针及受热台板总成

说明书

一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。热隔绝电接触探针包括：安装板，具有管状的销引导件，所述销引导件界定销通路；盖，耦合至安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在销引导件的顶部上方自杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于凸缘部与安装板的中间，所述弹簧使凸缘部偏置离开安装板；电接触垫，安置于空腔内；以及电导体，耦合至电接触垫且延伸贯穿导体通路。

本发明是2016年4月18日所提出的申请号201680023023.1、发明名称《热隔绝电接触探针及受热台板总成》的发明专利申案的分案申请。

技术领域

本发明的实施例涉及电连接装置领域，且更具体而言，涉及一种热隔绝电接触探针及受热台板总成。

背景技术

离子植入(ion implantation)是一种用于将用来改变导电性的杂质引入至例如晶圆等基板或其他工件中的技术。在离子束植入机的离子源中将所期望杂质材料离子化，所述离子被加速以形成具有规定能量的离子束，且所述离子束被引导于基板的表面。离子束中的高能离子(energetic ion)穿透至基板材料的主体中并内嵌至所述材料的晶格(crystalline lattice)中以形成具有所期望导电性的区。

在某些离子植入工艺中，通过在高温下将离子植入至目标基板中而实现所期望掺杂轮廓(doping profile)。可通过在离子植入工艺期间在受热台板上支撑基板来实现对基板的加热。传统受热台板可经由多个电接触探针而连接至电源。可将额外的电接触探针连接至受热台板，以使得能够对基板进行静电夹持(electrostatic clamping)。

在操作期间，连接至受热台板的各种电接触探针可自所述受热台板吸热并可降低受热台板的邻近于所述电接触探针的局部区域中的温度。如将理解，受热台板的材料的任何温度变化均可影响被传递至由受热台板支撑及加热的目标基板的热的均匀性，因而对离子植入工艺潜在地具有不利效果。在某些实例中，受热台板中的温度变化可造成受热台板翘曲、弯曲、或甚至开裂。

综上所述，需要通过在受热台板中进行电连接来减轻热损失，以实现均匀的台板温度。

发明内容

提供此发明内容是为了以简化形式介绍一系列概念。此发明内容并非旨在识别所主张主题的关键特征或本质特征、抑或旨在用以帮助确定所主张主题的范围。

根据本发明的示例性实施例的一种用于向受热台板提供电连接的热隔绝电接触探针可包括：安装板，具有管状的销引导件，管状的销引导件界定销通路；盖，耦合至所述安装板并具有颈部，所述颈部包围所述销引导件；以及绝缘销，具有杆部、凸缘部及空腔部，所述杆部安置于所述销通路内并界定导体通路，所述凸缘部在所述销引导件的顶部上方自所述杆部沿径向向外延伸，所述空腔部自所述凸缘部延伸且界定空腔。所述电接触探针还可包括：弹簧，安置于所述凸缘部与所述安装板的中间，所述弹簧使所述凸缘部偏置离开所述安装板；电接触垫，安置于所述空腔内；以及电导体，耦合至所述电接触垫且延伸贯穿所述导体通路。