[发明专利]蚀刻剂组合物、增粘剂、移除聚酰亚胺的方法以及蚀刻工艺

权利要求书

1.一种蚀刻剂组合物，包括：

增粘剂(A)，所述增粘剂(A)包括含羟基的树脂(a)、表面活性剂(b)和第一溶剂(c1)；以及

碱溶液(B)，所述碱溶液(B)包括碱性化合物(d)和第二溶剂(c2)，

其中，基于所述增粘剂(A)的总使用量为100重量份，所述含羟基的树脂(a)的使用量为24重量份至52重量份，所述表面活性剂(b)的使用量为1重量份至60重量份；

所述第一溶剂(c1)包括选自内酰胺类化合物、内酯类化合物及苯基醇类化合物所组成的群组中的至少一种；

所述第二溶剂(c2)包括一元醇及多元醇中的至少一种；

所述碱性化合物(d)包括选自碱金属氢氧化物、碳酸盐化合物及胺类氢氧化物所组成的群组中的至少一种；以及

基于所述蚀刻剂组合物的总使用量为100重量份，所述增粘剂(A)的使用量为30重量份至95重量份，且所述碱溶液(B)的使用量为5重量份至70重量份。

2.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述含羟基的树脂(a)中所含有的结构单元包括含羟基的酚醛树脂及含羟基的聚苯乙烯树脂中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述表面活性剂(b)包括含芳基的聚醚系表面活性剂及氟系表面活性剂中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述增粘剂(A)的总使用量为100重量份，所述第一溶剂(c1)的使用量为16重量份至48重量份。

5.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述碱性化合物(d)包括选自氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钠、碳酸钾、碳酸钙、碳酸氢钠、四甲基氢氧化铵及乙醇胺所组成的群组中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，所述第二溶剂(c2)包括选自甲醇、乙醇、异丙醇、乙二醇、戊二醇及甘油所组成的群组中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的蚀刻剂组合物，其中，基于所述碱溶液(B)的总使用量为100重量份，所述碱溶液(B)中的所述碱性化合物(d)中的碳酸盐化合物的使用量及胺类氢氧化物的使用量总和小于或等于4.29重量份。

8.一种增粘剂，适用于如权利要求1所述的蚀刻剂组合物，所述增粘剂包括：

含羟基的树脂(a)；

表面活性剂(b)；以及

第一溶剂(c1)，所述第一溶剂(c1)包括选自内酰胺类化合物、内酯类化合物及苯基醇类化合物所组成的群组中的至少一种，

其中，基于所述增粘剂的总使用量为100重量份，所述含羟基的树脂(a)的使用量为24重量份至52重量份，所述表面活性剂(b)的使用量为1重量份至60重量份。

9.根据权利要求8所述的增粘剂，其中，所述含羟基的树脂(a)中所含有的结构单元包括含羟基的酚醛树脂及含羟基的聚苯乙烯树脂中的至少一种。

10.根据权利要求8所述的增粘剂，其中，所述表面活性剂(b)包括含芳基的聚醚系表面活性剂及氟系表面活性剂中的至少一种。

11.根据权利要求8所述的增粘剂，其中，基于所述增粘剂的总使用量为100重量份，所述第一溶剂(c1)的使用量为16重量份至48重量份。

12.一种移除聚酰亚胺的方法，包括将如权利要求1至7中任一项所述的蚀刻剂组合物施加至预定位置的聚酰亚胺上。

13.根据权利要求12所述的移除聚酰亚胺的方法，更包括将所述增粘剂(A)与所述碱溶液(B)混合。

14.一种蚀刻工艺，包括使用如权利要求12或13所述的移除聚酰亚胺的方法。

15.根据权利要求14所述的蚀刻工艺，其是用于引线接合工艺，所述蚀刻剂组合物是施加于聚酰亚胺层的侧面的预定位置上，以便提升蚀刻定位精准度。