[发明专利]酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作，以去除尾气中夹杂的铜离子；

采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作，以进一步去除尾气中夹杂的铜离子；

采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液。

2.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述碱溶液为氢氧化钠溶液，所述氢氧化钠溶液的质量浓度范围为12％至20％。

3.如权利要求2所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述氢氧化钠溶液中含有稳定剂。

4.如权利要求3所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，按质量计，所述稳定剂的含量为所述氢氧化钠溶液的0.8％至1.5％；和/或，

所述稳定剂为碳酸钠和硅酸钠中的至少一种。

5.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述酸溶液的质量浓度范围为1％至5％；和/或，

所述酸溶液为硫酸溶液和磷酸溶液中的至少一种。

6.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液的步骤之后，还包括：

当碱溶液的pH值降低至预设阈值时，将吸收后的尾气处理并排放。

7.如权利要求1至6中任一项所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，定义将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作的次数为a，a≥2；和/或，

定义采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作的次数为b，b≥2；和/或，

定义采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作的次数为c，c≥2。

8.一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，包括：

电解槽，所述电解槽设有阴极室和阳极室；

水洗涤塔，所述水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；

酸洗涤塔，所述酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；以及

碱液吸收缸，所述碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。

9.如权利要求8所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，所述尾气的处理系统还包括酸性气体吸收塔，所述酸性气体吸收塔的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口；和/或，

所述尾气的处理系统还包括产品储存罐，所述产品储存罐的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口。

10.如权利要求8所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，所述水洗涤塔设置有多个，多个所述水洗涤塔串联设置，多个所述水洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；和/或，

所述酸洗涤塔设置有多个，多个所述酸洗涤塔串联设置，多个所述酸洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；和/或，

所述碱液吸收缸设置有多个，多个所述碱液吸收缸串联设置，多个所述碱液吸收缸中沿尾气流向位于最前面的碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。