[发明专利]一种层间粘附力的测试方法及测试样片制备方法

权利要求书

1.一种层间粘附力的测试方法，其特征在于，该方法包含：提供测试样片，以及利用四点弯曲法测试层间粘附力；所述测试样片包含硅片衬底条和附着在其表面的待测薄膜，所述层间粘附力包含以下的一种或多种：单层薄膜与硅片衬底条之间的粘附力、多层薄膜中的任意一薄膜层与其相邻的另一薄膜层之间的粘附力、多层薄膜中的薄膜层与硅片衬底条之间的粘附力；其中，所述测试样片的制备方法至少包含以下过程：

获得符合目标尺寸的若干个含有待测薄膜的硅片衬底条；

根据材料的弹性模量和断裂强度大小，选择与所述硅片衬底条适配的若干个第二层衬底结构；

将所述第二层衬底结构的一表面进行粗糙化处理；

将所述硅片衬底条的含待测薄膜的一面与对应的第二层衬底结构的粗糙化处理后的表面粘接；

其中，测试方法中，变能释放率G的计算公式如下：

λ＝E'₂/E'_Si；

式中，P为临界载荷；L为加载过程中压头与测试样片接触的单侧内外接触点之间的垂直距离；b是测试样片的宽度；E₂表示第二层衬底结构的弹性模量；υ₂表示第二层衬底结构的泊松比；E_Si表示硅片衬底条的弹性模量；v_Si代表硅片衬底条的泊松比；η_i＝h_i/(h₁+h₂)，h₁和h₂分别表示测试样片中硅片衬底条和第二层衬底结构的厚度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述第二层衬底结构包含不锈钢。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，

所述不锈钢包含304不锈钢，所述第二层衬底结构为不锈钢衬底条。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，

所述测试样片的制备方法中，包含以下过程的一种或多种：

通过将含有待测薄膜的硅片进行切割，获得符合目标尺寸的若干个含有待测薄膜的硅片衬底条；

通过将304不锈钢板进行切割，获得若干个304不锈钢衬底条，所述304不锈钢衬底条的厚度与硅片衬底条的厚度相同，或者，所述304不锈钢衬底条的厚度与硅片衬底条的厚度不相同；

利用胶水将所述硅片衬底条与对应的304不锈钢衬底条进行粘接，粘接后，使胶水固化；

粘接后得到硅片衬底条和304不锈钢衬底条的结合体，并在硅片衬底条背面垂直于衬底长边切割形成预断裂槽得到待测的测试样片，或者在硅片衬底条背面形成一定深度的划痕得到待测的测试样片。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，

切割含有待测薄膜的硅片得到含有待测薄膜的硅片衬底条后，对其进行清洗，其中，沿着硅片的110晶向进行切割；

和/或，切割304不锈钢板得到304不锈钢衬底条后，对其进行清洗。

6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，

304不锈钢衬底条与硅片衬底条的长度和/或宽度相同。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述粗糙化处理的方法为：使用腐蚀性试剂或使用砂纸通过机械研磨，使304不锈钢衬底条的不锈钢表面形成纹路。

8.如权利要求4所述的方法，其特征在于，

所述胶水与硅片衬底条或304不锈钢衬底条之间的粘结强度高于待测薄膜与硅片衬底条之间的粘结强度；

所述胶水为快干胶水，胶水固化时的固化温度范围为25～150℃，胶水固化的时间为1～30分钟。