[发明专利]一种翘曲片检测方法、装置及设备

权利要求书

1.一种翘曲片检测方法，其特征在于，应用翘曲片检测设备进行检测，其中所述翘曲片检测设备包括弹性材质的检测头，以及与所述检测头连通的流量传感器；所述翘曲片检测方法包括：

控制将所述检测头安装于预对准台上的待检测位置；

控制将待检测片放置于所述预对准台表面，所述待检测片覆盖所述检测头；

通过流量传感器测量所述待检测位置的气体流量值；

根据所述气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值，其中所述翘曲高度值为在垂直于所述预对准台承载待检测片的表面的方向上所述检测头凸出所述预对准台 承载待检测片的表面的高度；

所述根据所述气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值包括：

根据所述气体流量值与流量传感器的电压值的第一对应关系确定所述待检测位置的流量传感器的电压值；

利用测校系统的测校得到的所述流量传感器的电压值与所述翘曲高度值的第二对应关系确定待检测位置的翘曲高度值。

2.根据权利要求1所述的翘曲片检测方法，其特征在于，所述利用测校系统的测校得到的所述流量传感器的电压值与所述翘曲高度值的第二对应关系为

h=KV；其中h为所述翘曲高度值，V为所述流量传感器的电压值，K为测校系统的转换系数。

3.根据权利要求2所述的翘曲片检测方法，其特征在于，在控制将所述检测头安装于预对准台上的待检测位置之前，还包括：

控制将已知面型的片体放置于所述预对准台承载所述待检测片的表面，根据所述检测头在垂直于所述预对准台承载待检测片的表面的方向上的高度变化与所述流量传感器的电压数据，对所述转换系数进行校正。

4.根据权利要求1所述的翘曲片检测方法，其特征在于，所述翘曲片检测设备包括至少两个弹性材质的检测头，各所述检测头凸出于所述预对准台承载待检测片的表面相同高度，所述根据所述气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值之后，还包括：

根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布。

5.根据权利要求4所述的翘曲片检测方法，其特征在于，所述翘曲片检测设备包括至少三个弹性材质的检测头，各所述检测头凸出于所述预对准台承载待检测片的表面相同高度，所述根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布之后还包括：

根据至少两个一维空间上的翘曲度分布获得二维空间上的翘曲度分布。

6.根据权利要求4所述的翘曲片检测方法，其特征在于，所述根据两个相邻待检测位置获得的两个翘曲高度值获得一维空间上的翘曲度分布基于以下确定：

ϴ=arctan（(h1-h2)/X），其中h1、h2分别为所述待检测片在相邻两个待检测位置的翘曲高度值，X为相邻两个所述检测头之间的距离。

7.根据权利要求1所述的翘曲片检测方法，其特征在于，所述将待检测片放置于所述预对准台表面之后还包括：

控制通过吸附真空阀完成对预对准台上所述待检测片的吸附。

8.一种翘曲片检测装置，其特征在于，包括：

第一控制模块，所述第一控制模块用于控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置；

第二控制模块，所述第二控制模块用于控制将待检测片放置于所述预对准台表面，所述待检测片覆盖所述检测头；

气体流量值获取模块，所述气体流量值获取模块用于通过流量传感器测量所述待检测位置的气体流量值；

翘曲高度值计算模块，所述翘曲高度值计算模块用于根据所述气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值，其中所述翘曲高度值为在垂直于所述预对准台承载待检测片的表面的方向上所述检测头凸出所述预对准台 承载待检测片的表面的高度；

所述根据所述气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值包括：

根据所述气体流量值与流量传感器的电压值的第一对应关系确定所述待检测位置的流量传感器的电压值；

利用测校系统的测校得到的所述流量传感器的电压值与所述翘曲高度值的第二对应关系确定待检测位置的翘曲高度值。