[发明专利]一种非金属膜片式真空获得设备在审
申请号: | 202010484978.5 | 申请日: | 2020-06-01 |
公开(公告)号: | CN111502966A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 王浩为;邓高飞;刘淑婷;马现刚;齐英;陈林 | 申请(专利权)人: | 四川九天真空科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;F04B41/06;F04B39/12;F04B39/06;F04B37/14;F16F15/24 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 637000 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 非金属 膜片 真空 获得 设备 | ||
1.一种非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,包括:
电机(1),具有朝向两端伸出的传动轴(16);
第一泵体(2),设置在所述电机(1)的一端,具有与所述传动轴(16)连接的第一非金属膜片(21),所述第一非金属膜片(21)通过第一偏心结构(17)与所述传动轴(16)连接;
第二泵体(3),设置在所述电机(1)的另一端,具有与所述传动轴(16)连接的第二非金属膜片,所述第二非金属膜片通过第二偏心结构(18)与所述传动轴(16)连接;
所述第一偏心结构(17)与所述第二偏心结构(18)的偏心方向相反。
2.根据权利要求1所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,具有进气总口和出气总口,所述进气总口分别与所述第一泵体(2)的第一进气口(8)和第二泵体(3)的第二进气口(10)连通;
所述出气总口分别与所述第一泵体(2)的第一出气口(9)和第二泵体(3)的第二出气口(11)连通。
3.根据权利要求2所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述进气总口和出气总口设置在所述第一泵体(2)上,所述第一泵体(2)上还具有进气连口(14)和出气连口(15),所述进气连口(14)和第二进气口(10)通过进气连管(12)连通,所述出气连口(15)和第二出气口(11)通过出气连管(13)连通。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述第一偏心结构(17)包括:
第一偏心块,具有偏心块本体(23)和第一安装孔(25),所述偏心块本体(23)相对于所述第一安装孔(25)偏心设置,所述第一安装孔(25)内适于连接电机(1)的传动轴(16);
轴承(26),内圈套设在所述偏心块本体(23)的外圈上;
连杆支架(20),具有用于容纳所述轴承(26)的外圈的第二安装孔(27),所述连杆支架(20)的顶端连接有非金属膜片。
5.根据权利要求4所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述第一偏心块的偏心块本体(23)一侧设置有偏心补偿结构(24),所述偏心补偿结构(24)为朝向远离所述偏心块本体(23)的偏心方向偏心设置的圆形块。
6.根据权利要求5所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述圆形块的偏心距离大于所述偏心块本体(23)的偏心距离。
7.根据权利要求6所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述第二偏心结构(18)与所述第一偏心结构(17)的结构相同,并且所述第二偏心结构(18)的第二偏心块与所述第一偏心结构(17)的第一偏心块的偏心方向相反。
8.根据权利要求5-7中任一项所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,所述传动轴(16)的穿过所述偏心补偿结构(24)的部分上设有平面(28),所述偏心补偿结构(24)上设有与所述平面(28)连通的螺纹孔(29),通过螺丝(30)穿过所述螺纹孔(29)后可抵接在所述平面(28)上。
9.根据权利要求4所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,还包括:腔室支架(4),支撑在泵体的压缩腔室的底部,一侧与所述电机(1)连接。
10.根据权利要求9所述的非金属膜片式真空获得设备,其特征在于,还包括:风扇结构,设置在所述传动轴(16)的两端,具有与所述传动轴(16)的端部连接的扇叶(7),还具有罩设在所述扇叶(7)外部的风扇外罩(6),所述风扇外罩(6)的内部具有风道(31),所述风道(31)的一端朝向所述扇叶(7)连通,所述风道(31)的另一端朝向所述腔室支架(4)连通。
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