[发明专利]一种非金属膜片式真空获得设备在审
申请号: | 202010484978.5 | 申请日: | 2020-06-01 |
公开(公告)号: | CN111502966A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 王浩为;邓高飞;刘淑婷;马现刚;齐英;陈林 | 申请(专利权)人: | 四川九天真空科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;F04B41/06;F04B39/12;F04B39/06;F04B37/14;F16F15/24 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 637000 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 非金属 膜片 真空 获得 设备 | ||
本发明提供一种非金属膜片式真空获得设备,属于真空设备技术领域,包括:电机,具有朝向两端伸出的传动轴;第一泵体,设置在所述电机的一端,具有与所述传动轴连接的第一非金属膜片,所述第一非金属膜片通过第一偏心结构与所述传动轴连接;第二泵体,设置在所述电机的另一端,具有与所述传动轴连接的第二非金属膜片,所述第二非金属膜片通过第二偏心结构与所述传动轴连接;所述第一偏心结构与所述第二偏心结构的偏心方向相反;本发明的非金属膜片式真空获得设备,设计为采用一台电机驱动两个泵体的结构,并且两个泵体采用交替出力的优化设计,通过合理设计泵的尺寸、转速、冷却条件,能够使得泵的结构紧凑、安全可靠、寿命长、耗能低。
技术领域
本发明涉及真空设备技术领域,具体涉及一种非金属膜片式真空获得设备。
背景技术
随着半导体生产线的发展,干式真空泵得到了广泛的应用,半导体生产线的集成控制为一个大的趋势,因此行业渴望将干式真空泵的物理尺寸减小。
然而,这又与干式真空泵的抽气速率相矛盾,因为干式真空泵的抽气速率与容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。
因此,减小物理尺寸,需要提高干式真空泵转子的转速,这需要更好的动平衡、更优的热力学性能和更小的泄漏量。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于设计一种具有体积小、转速高、抽速快、自身冷却和耗能低等特点的真空获得设备。
为了解决上述技术问题,本发明提供一种非金属膜片式真空获得设备,包括:
电机,具有朝向两端伸出的传动轴;
第一泵体,设置在所述电机的一端,具有与所述传动轴连接的第一非金属膜片,所述第一非金属膜片通过第一偏心结构与所述传动轴连接;
第二泵体,设置在所述电机的另一端,具有与所述传动轴连接的第二非金属膜片,所述第二非金属膜片通过第二偏心结构与所述传动轴连接;
所述第一偏心结构与所述第二偏心结构的偏心方向相反。
作为优选方案,具有进气总口和出气总口,所述进气总口分别与所述第一泵体的第一进气口和第二泵体的第二进气口连通;
所述出气总口分别与所述第一泵体的第一出气口和第二泵体的第二出气口连通。
作为优选方案,所述进气总口和出气总口设置在所述第一泵体上,所述第一泵体上还具有进气连口和出气连口,所述进气连口和第二进气口通过进气连管连通,所述出气连口和第二出气口通过出气连管连通。
作为优选方案,所述第一偏心结构包括:
第一偏心块,具有偏心块本体和第一安装孔,所述偏心块本体相对于所述第一安装孔偏心设置,所述第一安装孔内适于连接电机的传动轴;
轴承,内圈套设在所述偏心块本体的外圈上;
连杆支架,具有用于容纳所述轴承的外圈的第二安装孔,所述连杆支架的顶端连接有非金属膜片。
作为优选方案,所述第一偏心块的偏心块本体一侧设置有偏心补偿结构,所述偏心补偿结构为朝向远离所述偏心块本体的偏心方向偏心设置的圆形块。
作为优选方案,所述圆形块的偏心距离大于所述偏心块本体的偏心距离。
作为优选方案,所述第二偏心结构与所述第一偏心结构的结构相同,并且所述第二偏心结构的第二偏心块与所述第一偏心结构的第一偏心块的偏心方向相反。
作为优选方案,所述传动轴的穿过所述偏心补偿结构的部分上设有平面,所述偏心补偿结构上设有与所述平面连通的螺纹孔,通过螺丝穿过所述螺纹孔后可抵接在所述平面上。
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