[发明专利]一种薄膜变形微流控器件

权利要求书

1.一种薄膜变形微流控器件，其特征在于，包括上夹具(9)、下夹具(10)，所述上夹具(9)、下夹具(10)之间安装有薄膜变形单元(5)，所述薄膜变形单元(5)由流体控制层(11)、薄膜变形层(12)、流体流阻层(13)和流体出口层(14)堆叠而成，所述流体控制层(11)上设有第一流体通道(15)和中心流体挤压腔室，所述薄膜变形层(12)上设有第二流体通道(16)，所述流体流阻层(13)设有第三流体通道(17)和中心流阻调节腔室(7)，所述流体出口层(14)上设有流体出口通道(18)，所述第一流体通道(15)经第二流体通道(16)贯通至第三流体通道(17)，所述第一流体通道(15)、第二流体通道(16)和第三流体通道(17)呈环形阵列排布，所述第三流体通道(17)通向中心流阻调节腔室(7)，所述上夹具(9)上设置有流体进样接口(1)和流体进样通道(2)，所述下夹具(10)底部中心设有流体出口(8)。

2.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述薄膜变形层(12)厚度为10～50μm，所述流体控制层(11)厚度为200±50μm，所述流体流阻层(13)和流体出口层(14)厚度为125±25μm。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述上夹具(9)与薄膜变形单元(5)顶层之间设置有高度为200-500μm的流体挤压腔室(3)。

4.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述中心流阻调节腔室(7)为直径为0.5～1.7mm、高度为25～200μm的圆柱体空腔，所述流体出口通道(18)直径为0.1-1mm。

5.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述上夹具(9)上设置有环形阻隔块(4)，所述环形阻隔块(4)与下夹具(10)上设置的环形密封块(6)将流体控制层(11)进行固定、密封。

6.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述流体进样接口(1)与注射器接口过盈配合。

7.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述流体控制层(11)和流体流阻层(13)为硅胶或任意一种能与PDMS或PEGDA键合的材料，所述薄膜变形层(12)为PDMS或PEGDA，所述流体出口层(14)材料为硅胶或任意一种能与硅胶键合的薄膜材料，所述流体控制层(11)、薄膜变形层(12)、流体流阻层(13)和流体出口层(14)通过等离子清洗方法键合成为一个整体。

8.根据权利要求1或7所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述流体控制层(11)、薄膜变形层(12)、流体流阻层(13)和流体出口层(14)通过激光加工出所需结构。

9.根据权利要求1所述的薄膜变形微流控器件，其特征在于，所述上夹具(9)、下夹具(10)为工程塑料、光敏树脂、橡胶材料、金属材料、陶瓷材料通过3D打印制得。