[发明专利]一种改进型硅片承载装置在审

专利信息
申请号: 202010492016.4 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN111477577A 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 李文红;杨宗明;张帆;王小东;刘平;高晗 申请(专利权)人: 深圳市石金科技股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L31/18
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 罗伟富
地址: 518105 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 改进型 硅片 承载 装置
【说明书】:

本发明公开一种改进型硅片承载装置,包括承载框以及多个承载盘;所述承载框包括多条横支承杆以及两组导轨组杆,所述多条横支承杆等间距设置,每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽;所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆;所述承载盘包括主体板以及限位件;所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。本发明结构简单,可拆装,节省板材原料,便于加工,并且安装便捷。

技术领域

本发明涉及一种电池片加工设备,具体涉及一种改进型硅片承载装置。

背景技术

太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中,一般会将多张待加工的硅片放置在承载框上,再将整个承载框连接安装在运输轨道上,通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而实现硅片的批量加工。市场上的承载框一般是由C/C复合板构成,具体是在C/C复合板上直接加工出多个矩形框槽,从而形成一个用于承载硅片的框架,摆放硅片时,通过挂钩将硅片固定在矩形框槽上,或者直接在矩形框槽的对应处加工出台阶,以便硅片的摆放;但是,这样加工出来的承载框功能单一,并且浪费板料,导致加工成本提高。为克服上述缺陷,授权公告号为CN209963033U的实用新型专利公开了“一种拼接式的硅片承载框”,其通过多条横支承杆和多条纵支承杆拼接而成,使得这个承载框的拆装灵活,便于存放,并且节省板料,达到降低加工成本的目的;但是,这样拼接式的承载框仍然需要使用多条横支承杆和纵支承杆,消耗较多C/C复合板材料,加工成本仍然偏高;同时,在承载框上的每个承载槽中还需要对应安装承载盘,才能将待加工的硅片放置在承载盘上,安装步骤繁琐,影响硅片的上料效率等。

发明内容

本发明目的在于克服现有技术的不足,提供一种改进型硅片承载装置,该装置结构简单,可拆装,节省板材原料,便于加工,并且安装便捷。

本发明的目的通过以下技术方案实现:

一种改进型硅片承载装置,其特征在于,包括承载框以及多个承载盘;其中,所述承载框包括多条横向延伸设置的横支承杆以及两组导轨组杆,所述两组导轨组杆沿纵向方向延伸且相对设置,所述多条横支承杆等间距设置,且每条横支承杆的两端分别可拆卸安装在所述两组导轨组杆上,每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽;所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆,所述支撑固定杆与所述横支承杆相互垂直设置;所述承载盘包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件;所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置;所述多个承载盘一一对应放置在所述承载槽中。

上述改进型硅片承载装置的工作原理是:

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