[发明专利]一种改进型硅片承载装置在审
申请号: | 202010492016.4 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN111477577A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 李文红;杨宗明;张帆;王小东;刘平;高晗 | 申请(专利权)人: | 深圳市石金科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 罗伟富 |
地址: | 518105 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进型 硅片 承载 装置 | ||
本发明公开一种改进型硅片承载装置,包括承载框以及多个承载盘;所述承载框包括多条横支承杆以及两组导轨组杆,所述多条横支承杆等间距设置,每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽;所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆;所述承载盘包括主体板以及限位件;所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置。本发明结构简单,可拆装,节省板材原料,便于加工,并且安装便捷。
技术领域
本发明涉及一种电池片加工设备,具体涉及一种改进型硅片承载装置。
背景技术
太阳能硅片的生产工艺流程一般包括硅片检测、表面制绒及酸洗、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀及酸洗、镀减反射膜、丝网印刷以及快速烧结等。在生产加工过程中,一般会将多张待加工的硅片放置在承载框上,再将整个承载框连接安装在运输轨道上,通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间的转移,从而实现硅片的批量加工。市场上的承载框一般是由C/C复合板构成,具体是在C/C复合板上直接加工出多个矩形框槽,从而形成一个用于承载硅片的框架,摆放硅片时,通过挂钩将硅片固定在矩形框槽上,或者直接在矩形框槽的对应处加工出台阶,以便硅片的摆放;但是,这样加工出来的承载框功能单一,并且浪费板料,导致加工成本提高。为克服上述缺陷,授权公告号为CN209963033U的实用新型专利公开了“一种拼接式的硅片承载框”,其通过多条横支承杆和多条纵支承杆拼接而成,使得这个承载框的拆装灵活,便于存放,并且节省板料,达到降低加工成本的目的;但是,这样拼接式的承载框仍然需要使用多条横支承杆和纵支承杆,消耗较多C/C复合板材料,加工成本仍然偏高;同时,在承载框上的每个承载槽中还需要对应安装承载盘,才能将待加工的硅片放置在承载盘上,安装步骤繁琐,影响硅片的上料效率等。
发明内容
本发明目的在于克服现有技术的不足,提供一种改进型硅片承载装置,该装置结构简单,可拆装,节省板材原料,便于加工,并且安装便捷。
本发明的目的通过以下技术方案实现:
一种改进型硅片承载装置,其特征在于,包括承载框以及多个承载盘;其中,所述承载框包括多条横向延伸设置的横支承杆以及两组导轨组杆,所述两组导轨组杆沿纵向方向延伸且相对设置,所述多条横支承杆等间距设置,且每条横支承杆的两端分别可拆卸安装在所述两组导轨组杆上,每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽;所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆,所述支撑固定杆与所述横支承杆相互垂直设置;所述承载盘包括主体板以及用于与承载框匹配安装的限位件;所述限位件设置在主体板的底面上,所述限位件的外轮廓与承载框上的承载槽的内轮廓对应;所述主体板的宽度与承载槽的横向尺寸对应设置,所述主体板的顶面上设有多个用于存放硅片的存放槽,所述多个存放槽沿横向方向等间距排列设置;所述多个承载盘一一对应放置在所述承载槽中。
上述改进型硅片承载装置的工作原理是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造