[发明专利]一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高压注浆成型装置，其特征在于，包括高压注浆装置、成型装置和抽滤装置；

所述成型装置包括真空抽滤室、树脂外模、树脂内模和内模底座；所述真空抽滤室顶端设置有可打开的顶盖，顶盖上设置有注浆口；

所述树脂外模为圆筒状，位于真空抽滤室内部，且树脂外模的外壁和真空抽滤室的内壁之间存在空隙；

所述树脂内模为可伸缩式模具，位于树脂外模的圆筒中心；

所述内模底座设置于真空抽滤室下方，所述内模底座内部设置有与树脂内模相连接的伸缩装置，用于控制树脂内模的伸缩；

所述树脂外模和树脂内模均可装卸；

所述真空抽滤室底部设置有抽滤口；

所述高压注浆装置与成型装置的注浆口连接；

所述抽滤装置包括滤液池和与滤液池连通的抽滤设备；所述滤液池与真空抽滤室的抽滤口连接，且和树脂内模连接。

2.根据权利要求1所述的高压注浆成型装置，其特征在于，所述树脂外模和树脂内模的材质均为微孔树脂；所述微孔树脂的孔隙尺寸为10～100nm。

3.根据权利要求1所述的高压注浆成型装置，其特征在于，所述树脂内模为可由上而下依次伸缩的模具，所述树脂内模包括若干伸缩节，顶端第一节伸缩节与内模底座的伸缩装置相连，且所有伸缩节之间依次羁绊连接。

4.根据权利要求1所述的高压注浆成型装置，其特征在于，所述滤液池底部设置有可闭合的排水口。

5.一种利用权利要求1～4任一项所述的装置制备ITO旋转靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)提供ITO靶材浆料；

(2)利用高压注浆装置向成型装置中注入ITO靶材浆料，同时开启抽滤设备，进行高压注浆抽滤成型，得到ITO靶材素坯；

(3)通过内模底座内部的伸缩装置将树脂内模收缩，将树脂外模和ITO靶材素坯一同取出进行干燥，然后将树脂外模和ITO靶材素坯分离，得到干燥坯体；

(4)将所述干燥坯体在氧气气氛中进行烧结处理，得到ITO旋转靶材。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述高压注浆抽滤成型过程中注浆的压力为1～1.5MPa。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述高压注浆抽滤成型过程中真空抽滤室内的真空度为0.5～1kPa，所述高压注浆抽滤成型的时间为60～120min。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述烧结处理包括依次进行的预烧结和烧结，所述预烧结的温度为200～250℃，时间为2～4h；所述烧结的温度为1400～1600℃，时间为18～24h。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述烧结处理前，还包括将干燥坯体进行机加工。